¿Qué es el recubrimiento TAC? - Semiconductor Vetek

Recubrimiento TAC (Revestimiento de carburo tantalum) es un material de recubrimiento de alto rendimiento producido por el proceso de deposición de vapor químico (CVD). Debido a las excelentes propiedades del recubrimiento de TAC en condiciones extremas, se usa ampliamente en el proceso de fabricación de semiconductores, especialmente en equipos y componentes que requieren alta temperatura y un entorno corrosivo fuerte. El recubrimiento TAC generalmente se usa para proteger sustratos (como grafito o cerámica) del daño por alta temperatura, gases corrosivos y desgaste mecánico.

Propiedades físicas del recubrimiento TAC

Características del producto y ventajas

● Estabilidad térmica extremadamente alta:

Descripción de la característica: El recubrimiento TAC tiene un punto de fusión de más de 3880 ° C y puede mantener la estabilidad sin descomposición o deformación en un entorno de temperatura extremadamente alta.

Ventaja: esto lo convierte en un material indispensable en equipos semiconductores de alta temperatura, como el recubrimiento CVD TAC y el susceptor recubierto de TAC, especialmente para aplicaciones en reactores MOCVD, como el equipo Aixtron G5.

● Excelente resistencia a la corrosión:

Descripción de la característica: TAC tiene una inercia química extremadamente fuerte y puede resistir efectivamente la erosión de gases corrosivos como cloruros y fluoruros.

Ventajas: en los procesos semiconductores que involucran productos químicos altamente corrosivos, el recubrimiento TAC protege los componentes del equipo de los ataques químicos, prolonga la vida útil y mejora la estabilidad del proceso, especialmente en la aplicación de la embarcación de oblea de carburo de silicio y otros componentes clave.

● Excelente dureza mecánica:

Descripción de la característica: La dureza del recubrimiento TAC es tan alta como 9-10 MOHS, lo que lo hace resistente al desgaste mecánico y al estrés de alta temperatura.

Ventaja: la propiedad de alta dureza hace que el recubrimiento de TAC sea particularmente adecuado para su uso en ambientes de alto desgaste y alto estrés, lo que garantiza la estabilidad a largo plazo y la confiabilidad del equipo en condiciones duras.

● Baja reactividad química:

Descripción de la característica: debido a su inercia química, el recubrimiento de TAC puede mantener una baja reactividad en ambientes de alta temperatura y evitar reacciones químicas innecesarias con gases reactivos.

Ventaja: Esto es especialmente importante en el proceso de fabricación de semiconductores porque garantiza la pureza del entorno del proceso y la deposición de alta calidad de materiales.

El papel del recubrimiento de TAC en el procesamiento de semiconductores

● Protección de componentes clave del equipo:

Descripción de la función: El recubrimiento TAC se usa ampliamente en componentes clave de los equipos de fabricación de semiconductores, como el susceptor recubierto de TAC, que deben trabajar en condiciones extremas. Al recubrir con TAC, estos componentes pueden funcionar durante largos períodos de tiempo en ambientes de alta temperatura y gas corrosivo sin ser dañados.

● Extender la vida útil del equipo:

Descripción de la función: en equipos MOCVD como Aixtron G5, el recubrimiento TAC puede mejorar significativamente la durabilidad de los componentes del equipo y reducir la necesidad de mantenimiento y reemplazo del equipo debido a la corrosión y el desgaste.

● Mejorar la estabilidad del proceso:

Descripción de la función: en la fabricación de semiconductores, el recubrimiento TAC garantiza la uniformidad y la consistencia del proceso de deposición al proporcionar un entorno estable de alta temperatura y químicos. Esto es particularmente importante en los procesos de crecimiento epitaxial como la epitaxia de silicio y el nitruro de galio (GaN).

● Mejorar la eficiencia del proceso:

Descripción de la función: al optimizar el recubrimiento en la superficie del equipo, el recubrimiento TAC puede mejorar la eficiencia general del proceso, reducir la tasa de defectos y aumentar el rendimiento del producto. Esto es crítico para la fabricación de materiales semiconductores de alta precisión y alta pureza.

La alta estabilidad térmica, la excelente resistencia a la corrosión, la dureza mecánica y la baja reactividad química exhibida por el recubrimiento de TAC durante el procesamiento de semiconductores lo convierten en una opción ideal para proteger los componentes del equipo de fabricación de semiconductores. A medida que la demanda de la industria de semiconductores de alta temperatura, alta pureza y procesos de fabricación eficientes continúa aumentando, el recubrimiento TAC tiene amplias perspectivas de aplicación, especialmente en equipos y procesos que involucran recubrimiento con TAC CVD, susceptor recubierto de TAC y Aixtron G5.

Vetek Semiconductor Technology Co., Ltd es un proveedor líder de materiales de recubrimiento avanzados para la industria de semiconductores. Nuestra empresa se enfoca en desarrollar soluciones de vanguardia para la industria.

Nuestras principales ofertas de productos incluyenRecubrimientos de carburo de silicio (sic) CVD, revestimientos de carburo tantalum (TAC), sic a granel, polvos SIC y materiales SIC de alta pureza, susceptor de grafito recubierto de SIC, anillos de precalentamiento, anillo de desvío recubierto de TAC, piezas de media luna, etc., la pureza está por debajo de 5 ppm, puede cumplir con los requisitos del cliente.

Vetek Semiconductor se enfoca en desarrollar tecnología de punta y soluciones de desarrollo de productos para la industria de semiconductores.Esperamos sinceramente convertirnos en su socio a largo plazo en China.