Productos

Nuestro brazo robótico de carburo de silicio (SIC) está diseñado para el manejo de obleas de alto rendimiento en la fabricación avanzada de semiconductores. Hecho de carburo de silicio de alta pureza, este brazo robótico ofrece una resistencia excepcional a altas temperaturas, corrosión en plasma y ataque químico, asegurando una operación confiable en ambientes exigentes de sala limpia. Su resistencia mecánica excepcional y estabilidad dimensional permiten un manejo preciso de la oblea al tiempo que minimiza los riesgos de contaminación, lo que lo convierte en una opción ideal para MOCVD, epitaxia, implantación iónica y otras aplicaciones críticas de manejo de obleas. Agradecemos sus consultas.

Veteksemicon se especializa en proporcionar productos personalizados de barco de cuarzo para la industria de semiconductores. Nuestra línea de productos incluye barcos de vidrio de cuarzo fusionado con semiconductores, barcos de difusión de cuarzo y barcos de recocido de cuarzo personalizados, ampliamente utilizados en procesos de alta precisión como difusión, oxidación y ECV. Veteksemicon insiste en proporcionar servicios integrales personalizados de productos y tecnologías. Esperamos su consulta adicional.

Los barcos de obleas SIC Veteksemicon se utilizan ampliamente en procesos críticos de alta temperatura en la fabricación de semiconductores, que sirven como portadores confiables para los procesos de oxidación, difusión y recocido para circuitos integrados basados ​​en silicio. También se destacan en el sector semiconductor de tercera generación, perfectamente adecuado para procesos exigentes como el crecimiento epitaxial (EPI) y la deposición de vapor químico metal-orgánico (MOCVD) para dispositivos de energía SIC y GaN. También admiten la fabricación de alta temperatura de células solares de alta eficiencia en la industria fotovoltaica. Esperamos su consulta adicional.

El cabezal de ducha de grafito recubierto de CVD de Veteksemicon es un componente de alto rendimiento diseñado específicamente para procesos de deposición de vapor químico semiconductor (CVD). Fabricado a partir de grafito de alta pureza y protegido con un recubrimiento de carburo de silicio (SIC) de depósito de vapor químico (CVD), esta cabeza de ducha ofrece una excepcional durabilidad, estabilidad térmica y resistencia a los gases de proceso corrosivos. Esperamos su consulta adicional.

El cabezal de ducha de cuarzo, también conocido como placa de distribución de gas de cuarzo, es un componente crítico utilizado en procesos de deposición de película delgada semiconductora como CVD (deposición de vapor químico), PecVD (ECV con plasma) y ALD (deposición de la capa atómica). Hecho de cuarzo fusionado de alta pureza, este componente garantiza una contaminación ultracleada y una excelente estabilidad térmica, lo que permite el suministro preciso de gas y el crecimiento de la película uniforme en la superficie de la oblea. Esperamos su consulta adicional.

Nuestros anillos de guía de grafito recubiertos de TAC son componentes de núcleo de precisión para la fabricación de obleas de semiconductores. Cuentan con un sustrato de grafito de alta pureza recubierto con un recubrimiento de carburo tantalum (TAC) resistente al desgaste y químicamente inerte. Diseñados para procesos exigentes como la deposición epitaxial y el grabado de plasma, garantizan una alineación y estabilidad de obleas precisas, controlan efectivamente la contaminación y extienden significativamente la vida útil de los componentes. Veteksemicon ofrece servicios de personalización para que coincidan perfectamente con sus equipos y requisitos de proceso.