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Materia prima de SiC CVD de alta pureza 7N
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Materia prima de SiC CVD de alta pureza 7N

La calidad del material inicial es el factor principal que limita el rendimiento de las obleas en la producción de monocristales de SiC. El CVD SiC a granel de alta pureza 7N de VETEK ofrece una alternativa policristalina de alta densidad a los polvos tradicionales, diseñada específicamente para el transporte físico de vapor (PVT). Al utilizar una forma CVD a granel, eliminamos los defectos de crecimiento comunes y mejoramos significativamente el rendimiento del horno. Esperamos su consulta.

1. Factores básicos de rendimiento



  • Pureza de grado 7N: Mantenemos una pureza constante del 99,99999% (7N), manteniendo las impurezas metálicas en niveles de ppb. Esto es esencial para cultivar cristales semiaislantes de alta resistividad (HPSI) y garantizar cero contaminación en aplicaciones de energía o RF.
  • Estabilidad estructural versus polvo C: A diferencia de los polvos tradicionales que tienden a colapsar o liberar finos durante la sublimación, nuestro material a granel CVD de grano grande permanece estructuralmente estable. Esto evita la migración del polvo de carbono (polvo de C) a la zona de crecimiento, la principal causa de inclusiones de cristales y defectos de microtubos.
  • Cinética de crecimiento optimizada: Diseñada para la fabricación a escala industrial, esta fuente admite tasas de crecimiento de hasta 1,46 mm/h. Esto representa una mejora de 2 a 3 veces con respecto a los 0,3 a 0,8 mm/h que normalmente se logran con los métodos convencionales a base de polvo.
  • Gestión del gradiente térmico: La alta densidad aparente y la geometría específica de nuestros bloques crean un gradiente de temperatura más agresivo dentro del crisol. Esto promueve una liberación equilibrada de vapores de silicio y carbono, mitigando las fluctuaciones "rico en Si temprano / rico en C tarde" que afectan a los procesos estándar.
  • Optimización de carga del crisol: Nuestro material permite un aumento de más de 2 kg en la capacidad de carga para crisoles de 8 pulgadas en comparación con los métodos en polvo. Esto permite el crecimiento de lingotes más largos por ciclo, mejorando directamente la tasa de rendimiento de postproducción hasta el 100%.



Vetek CVD SiC Raw Material


1. Especificaciones técnicas

Parámetro
Datos
Materiales básicos
SiC CVD policristalino de alta pureza
Estándar de pureza
7N (≥ 99,99999%)
Concentración de nitrógeno (N)
≤ 5 × 10¹⁵ cm⁻³
Morfología
Bloques de grano grande de alta densidad
Solicitud de proceso
Crecimiento de cristales 4H y 6H-SiC basado en PVT
Punto de referencia de crecimiento
1,46 mm/h con alta calidad de cristal

Comparación: polvo tradicional versus VETEK CVD a granel

Artículo de comparación
Polvo de SiC tradicional
VETEK CVD-SiC a granel
Forma fisica
Polvo fino/irregular
Bloques densos y de grano grande
Riesgo de inclusión
Alto (debido a la migración del polvo C)
Mínimo (estabilidad estructural)
Índice de crecimiento
0,3 – 0,8 mm/h
Hasta 1,46 mm/h
Estabilidad de fase
Derivas durante largos ciclos de crecimiento
Liberación estequiométrica estable
Capacidad del horno
Estándar
+2 kg por crisol de 8 pulgadas


CVD SiC Raw Material for SiC Crystal Growth

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