VeTek Semiconductor proporciona grafito especial como grafito siliconado, carbón pirolítico, grafito poroso, recubrimiento de carbón vítreo, láminas de grafito de alta pureza y grafito isostático de alta pureza, son varios tipos de materiales de grafito especiales que comparten características y aplicaciones comunes. Aquí hay una breve introducción a sus características y aplicaciones:
● Grafito siliconado: El grafito siliconado es un material de grafito especial formado combinando grafito con compuestos de silicio. Presenta una excelente resistencia a altas temperaturas, resistencia a la corrosión y propiedades mecánicas. El grafito siliconado se usa comúnmente en hornos de alta temperatura, equipos resistentes a la corrosión y fabricación de semiconductores.
● Carbono pirolítico: El carbón pirolítico es un material de carbono obtenido por pirólisis a alta temperatura de sustancias orgánicas como el carbón y el coque de petróleo. Cuenta con alta pureza, densidad, resistencia y baja conductividad eléctrica. El carbón pirolítico encuentra amplias aplicaciones como materiales de alta temperatura y componentes estructurales en semiconductores, equipos químicos, aeroespacial y otros campos.
● Grafito poroso: El grafito poroso es un material de grafito especial con estructuras micro y mesoporosas. Posee una gran superficie específica y porosidad, ofreciendo excelentes propiedades de adsorción y conductividad térmica. El grafito poroso se usa comúnmente en la separación de gases, el crecimiento de cristales de SiC y otras aplicaciones.
● Recubrimiento de carbono vítreo: El recubrimiento de carbono vítreo se refiere a la técnica de aplicar material de carbono vítreo como revestimiento de superficie. Presenta una excelente resistencia a la corrosión, resistencia al desgaste y conductividad eléctrica. Los recubrimientos de carbono vítreo se utilizan con frecuencia en recubrimientos resistentes a la corrosión, material de recubrimiento para E-Beam Gun y otros campos de semiconductores.
● Grafito isostático de alta pureza: El grafito isostático de alta pureza es un material de grafito especial de alta pureza preparado mediante un proceso de prensado isostático a alta temperatura. Presenta una microestructura uniforme, alta densidad y bajo contenido de oxígeno. El grafito isostático de alta pureza se emplea ampliamente en el mecanizado de precisión, materiales de disipación de calor, fabricación de semiconductores, energía fotovoltaica, aeroespacial y otras industrias.
El papel de grafito de alta pureza es un material especializado que se utiliza en la industria de los semiconductores. Con su excepcional conductividad térmica y eléctrica, desempeña un papel vital en aplicaciones como disipadores de calor, materiales de interfaz térmica y aislamiento eléctrico. La naturaleza liviana y flexible del papel de grafito de alta pureza lo hace ideal para mejorar la gestión térmica y optimizar el rendimiento de los dispositivos semiconductores. Su alta pureza (impureza inferior a 5 ppm) garantiza un funcionamiento fiable y eficiente, lo que lo convierte en un componente valioso en la fabricación y montaje de semiconductores.
Estos materiales especiales de grafito ofrecen propiedades únicas y ventajas de aplicación en sus respectivos campos. Desempeñan un papel fundamental en entornos de alta temperatura, resistencia a la corrosión, electrónica, energía, ingeniería química, industria aeroespacial y de semiconductores, y brindan un apoyo esencial para los avances y las innovaciones en estos sectores.
Características clave
● Opciones de pureza ultraalta con niveles de impureza inferiores a 5 ppm para procesos críticos de semiconductores.
● Excelente estabilidad a altas temperaturas y resistencia al choque térmico, adecuado para hornos de vacío y crecimiento de cristales de SiC PVT.
● Diversas formas de materiales: grafito isostático, grafito poroso, grafito siliconado, recubrimiento de PyC, recubrimiento de carbono vítreo y láminas de grafito flexible.
● Resistencia superior a la corrosión, resistencia al desgaste y porosidad controlada para aplicaciones de gestión de gas y campos térmicos.
● Capacidad interna de mecanizado y recubrimiento (SiC / TaC / PyC) que permite soluciones personalizadas integrales.
● Compatible con las principales plataformas de equipos de crecimiento de cristales y semiconductores.
Especificaciones del producto
| Parámetro de recubrimiento de carbono pirolítico (PyC) |
| Artículo |
Unidad |
valor |
| Estructura cristalina |
-
|
Hexagonal |
| Alineación |
-
|
Orientado o no orientado en la dirección 001 |
| Densidad aparente |
gramos/cm³ |
~2.24 |
| Microestructura |
-
|
Grafeno policristalino/multicapa |
| Dureza |
GPa |
1.1
|
| Módulo elástico |
GPa |
10
|
| Espesor típico |
µm |
30-100 |
| Rugosidad de la superficie |
µm |
1.5
|
| Pureza del producto |
ppm |
≤5 ppm |
Aplicaciones
Para satisfacer las diversas necesidades de los procesos de semiconductores y de alta temperatura, VeTek ofrece productos de grafito especial específicos. La siguiente tabla los clasifica por áreas de aplicación principales, enumerando materiales/componentes típicos y procesos aplicables:
| Campo de aplicación |
Materiales / Productos Típicos |
Descripción de la aplicación |
| Crecimiento de cristales de SiC (PVT) |
Grafito poroso, Anillo de grafito recubierto de PyC., crisol de grafito isostático, anillo guía
|
Utilizado en campos térmicos de crecimiento de cristales PVT SiC; Proporciona transporte de vapor controlado, alta pureza y estabilidad térmica hasta >2200 °C, lo que reduce la contaminación por partículas. |
| Epitaxia de semiconductores / MOCVD |
calentadores, Piezas recubiertas de PyC/carbono vítreo
|
Componentes de campo térmico de alta pureza para sistemas de epitaxia y MOCVD de Si/SiC/GaN; Excelente uniformidad de temperatura e inercia química. |
| Hornos de alta temperatura y vacío |
Calentadores de grafito, Crisol de grafito de tres pétalos
|
Materiales resistentes a la corrosión y térmicamente estables para hornos de vacío, calentadores de zona caliente y equipos de procesamiento de alta temperatura. |
| Gestión Térmica |
Fieltro de grafito de alta pureza., papel grafito
|
Hojas flexibles de alta conductividad térmica/eléctrica para disipadores de calor, materiales de interfaz térmica y aislamiento eléctrico en dispositivos semiconductores (impureza <5 ppm). |
| Protección contra la corrosión y el desgaste |
Recubrimiento de carbono vítreo, grafito siliconado |
Recubrimientos de superficies y materiales a granel que ofrecen excelente resistencia a la corrosión, resistencia al desgaste y conductividad eléctrica para pistolas de haz E y entornos hostiles. |
| Separación y adsorción de gases |
Grafito poroso
|
Estructura micro/mesoporosa con gran superficie específica para aplicaciones de separación de gases, filtración y atmósfera controlada. |
Para obtener soluciones más detalladas de combinación de productos y procesos, consulte las páginas de subcategorías relacionadas:Grafito poroso, Grafito isotrópico, Recubrimiento de carbón pirolíticoetc.
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