Horno de oxidación y difusión

Los hornos de oxidación y difusión se utilizan en varios campos, como dispositivos semiconductores, dispositivos discretos, dispositivos optoelectrónicos, dispositivos electrónicos de energía, células solares y fabricación de circuitos integrados a gran escala. Se utilizan para procesos que incluyen difusión, oxidación, recocido, aleación y sinterización de obleas.

Vetek Semiconductor es un fabricante líder especializado en la producción de grafito de alta pureza, carburo de silicio y componentes de cuarzo en hornos de oxidación y difusión. Estamos comprometidos a proporcionar componentes de horno de alta calidad para las industrias semiconductores y fotovoltaicas, y estamos a la vanguardia de la tecnología de recubrimiento de superficie, como CVD-SIC, CVD-TAC, Pyrocarbon, etc.

Las ventajas de los componentes de carburo de silicio de semiconductores Vetek:

● Resistencia de alta temperatura (hasta 1600 ℃)

● Excelente conductividad térmica y estabilidad térmica

● Buena resistencia a la corrosión química

● Bajo coeficiente de expansión térmica

● Alta fuerza y dureza

● Larga vida útil

En hornos de oxidación y difusión, debido a la presencia de gases de alta temperatura y corrosivos, muchos componentes requieren el uso de materiales a alta temperatura y resistentes a la corrosión, entre los cuales el carburo de silicio (SIC) es una opción de uso común. Los siguientes son componentes comunes de carburo de silicio que se encuentran en hornos de oxidación y hornos de difusión:

● Barco de obleas

El bote de obleas de carburo de silicio es un recipiente utilizado para transportar obleas de silicio, que pueden soportar altas temperaturas y no reaccionará con obleas de silicio.

● Tubo de horno

El tubo del horno es el componente central del horno de difusión, utilizado para acomodar obleas de silicio y controlar el entorno de reacción. Los tubos del horno de carburo de silicio tienen un excelente rendimiento de resistencia a la alta temperatura y a alta temperatura.

● Placa de deflectación

Se utiliza para regular el flujo de aire y la distribución de temperatura dentro del horno

● Tubo de protección de termopar

Se utiliza para proteger los termopares de medición de la temperatura del contacto directo con gases corrosivos.

● Paleta en voladizo

Las paletas en voladizo de carburo de silicio son resistentes a la alta temperatura y la corrosión, y se utilizan para transportar barcos de silicio o botes de cuarzo que transportan obleas de silicio a los tubos de horno de difusión.

● Inyector de gas

Utilizado para introducir gas de reacción en el horno, debe ser resistente a la alta temperatura y la corrosión.

● Carrera de botes

El transportador de barcos de oblea de carburo de silicio se utiliza para arreglar y soportar obleas de silicio, que tienen ventajas como alta resistencia, resistencia a la corrosión y buena estabilidad estructural.

● Puerta del horno

Los recubrimientos o componentes de carburo de silicio también se pueden usar en el interior de la puerta del horno.

● Elemento de calefacción

Los elementos de calefacción de carburo de silicio son adecuados para altas temperaturas, alta potencia y pueden aumentar rápidamente las temperaturas a más de 1000 ℃.

● Liner Sic

Utilizado para proteger la pared interna de los tubos de horno, puede ayudar a reducir la pérdida de energía térmica y resistir ambientes hostiles, como alta temperatura y alta presión.

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Brazo robot de carburo de silicio

Nuestro brazo robótico de carburo de silicio (SIC) está diseñado para el manejo de obleas de alto rendimiento en la fabricación avanzada de semiconductores. Hecho de carburo de silicio de alta pureza, este brazo robótico ofrece una resistencia excepcional a altas temperaturas, corrosión en plasma y ataque químico, asegurando una operación confiable en ambientes exigentes de sala limpia. Su resistencia mecánica excepcional y estabilidad dimensional permiten un manejo preciso de la oblea al tiempo que minimiza los riesgos de contaminación, lo que lo convierte en una opción ideal para MOCVD, epitaxia, implantación iónica y otras aplicaciones críticas de manejo de obleas. Agradecemos sus consultas.

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Silicon Carbide Sic Wafer Boat

Los barcos de obleas SIC Veteksemicon se utilizan ampliamente en procesos críticos de alta temperatura en la fabricación de semiconductores, que sirven como portadores confiables para los procesos de oxidación, difusión y recocido para circuitos integrados basados en silicio. También se destacan en el sector semiconductor de tercera generación, perfectamente adecuado para procesos exigentes como el crecimiento epitaxial (EPI) y la deposición de vapor químico metal-orgánico (MOCVD) para dispositivos de energía SIC y GaN. También admiten la fabricación de alta temperatura de células solares de alta eficiencia en la industria fotovoltaica. Esperamos su consulta adicional.

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Sic en voladizo paletas

Las paletas Veteksemicon SIC en voladizo son brazos de soporte de carburo de silicio de alta pureza diseñados para el manejo de obleas en hornos horizontales de difusión y reactores epitaxiales. Con una conductividad térmica excepcional, resistencia a la corrosión y resistencia mecánica, estos paletas aseguran la estabilidad y la limpieza en los entornos de semiconductores exigentes. Disponible en tamaños personalizados y optimizado para una larga vida útil.

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Membrana de cerámica sic

Las membranas de la cerámica SIC de Veteksemicon son un tipo de membrana inorgánica y pertenecen a materiales de membrana sólida en la tecnología de separación de membrana. Las membranas SIC se disparan a una temperatura superior a 2000 ℃. La superficie de las partículas es lisa y redonda. No hay poros o canales cerrados en la capa de soporte y cada capa. Por lo general, están compuestos por tres capas con diferentes tamaños de poro.

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Placa de cerámica sic porosa

Nuestras placas de cerámica SIC porosa son materiales cerámicos porosos hechos de carburo de silicio como componente principal y procesados por procesos especiales. Son materiales indispensables en la fabricación de semiconductores, deposición de vapor químico (CVD) y otros procesos.

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Sic Ceramics Wafer Boat

Vetek Semiconductor es un proveedor líder de barco de la oblea de cerámica SIC, fabricante y fábrica en China. Nuestro barco de obleas SIC Ceramics es un componente vital en los procesos avanzados de manejo de obleas, que atiende a las industrias fotovoltaicas, electrónicas y de semiconductores. Esperamos su consulta.

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Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

Como fabricante y proveedor profesional Horno de oxidación y difusión en China, tenemos nuestra propia fábrica. Ya sea que necesite servicios personalizados para satisfacer las necesidades específicas de su región o desee comprar Horno de oxidación y difusión avanzado y duradero realizados en China, puede dejarnos un mensaje.

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