Horno de oxidación y difusión

Los hornos de oxidación y difusión se utilizan en varios campos, como dispositivos semiconductores, dispositivos discretos, dispositivos optoelectrónicos, dispositivos electrónicos de energía, células solares y fabricación de circuitos integrados a gran escala. Se utilizan para procesos que incluyen difusión, oxidación, recocido, aleación y sinterización de obleas.

Vetek Semiconductor es un fabricante líder especializado en la producción de grafito de alta pureza, carburo de silicio y componentes de cuarzo en hornos de oxidación y difusión. Estamos comprometidos a proporcionar componentes de horno de alta calidad para las industrias semiconductores y fotovoltaicas, y estamos a la vanguardia de la tecnología de recubrimiento de superficie, como CVD-SIC, CVD-TAC, Pyrocarbon, etc.

Las ventajas de los componentes de carburo de silicio de semiconductores Vetek:

● Resistencia de alta temperatura (hasta 1600 ℃)

● Excelente conductividad térmica y estabilidad térmica

● Buena resistencia a la corrosión química

● Bajo coeficiente de expansión térmica

● Alta fuerza y dureza

● Larga vida útil

En hornos de oxidación y difusión, debido a la presencia de gases de alta temperatura y corrosivos, muchos componentes requieren el uso de materiales a alta temperatura y resistentes a la corrosión, entre los cuales el carburo de silicio (SIC) es una opción de uso común. Los siguientes son componentes comunes de carburo de silicio que se encuentran en hornos de oxidación y hornos de difusión:

● Barco de obleas

El bote de obleas de carburo de silicio es un recipiente utilizado para transportar obleas de silicio, que pueden soportar altas temperaturas y no reaccionará con obleas de silicio.

● Tubo de horno

El tubo del horno es el componente central del horno de difusión, utilizado para acomodar obleas de silicio y controlar el entorno de reacción. Los tubos del horno de carburo de silicio tienen un excelente rendimiento de resistencia a la alta temperatura y a alta temperatura.

● Placa de deflectación

Se utiliza para regular el flujo de aire y la distribución de temperatura dentro del horno

● Tubo de protección de termopar

Se utiliza para proteger los termopares de medición de la temperatura del contacto directo con gases corrosivos.

● Paleta en voladizo

Las paletas en voladizo de carburo de silicio son resistentes a la alta temperatura y la corrosión, y se utilizan para transportar barcos de silicio o botes de cuarzo que transportan obleas de silicio a los tubos de horno de difusión.

● Inyector de gas

Utilizado para introducir gas de reacción en el horno, debe ser resistente a la alta temperatura y la corrosión.

● Carrera de botes

El transportador de barcos de oblea de carburo de silicio se utiliza para arreglar y soportar obleas de silicio, que tienen ventajas como alta resistencia, resistencia a la corrosión y buena estabilidad estructural.

● Puerta del horno

Los recubrimientos o componentes de carburo de silicio también se pueden usar en el interior de la puerta del horno.

● Elemento de calefacción

Los elementos de calefacción de carburo de silicio son adecuados para altas temperaturas, alta potencia y pueden aumentar rápidamente las temperaturas a más de 1000 ℃.

● Liner Sic

Utilizado para proteger la pared interna de los tubos de horno, puede ayudar a reducir la pérdida de energía térmica y resistir ambientes hostiles, como alta temperatura y alta presión.

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Bote de obleas sic

El barco de oblea de SiC se utiliza para transportar la oblea, principalmente para el proceso de oxidación y difusión, para garantizar que la temperatura se pueda distribuir uniformemente en la superficie de la oblea. La estabilidad a alta temperatura y la alta conductividad térmica de los materiales de SiC garantizan un procesamiento de semiconductores eficiente y fiable. Vetek semiconductor se compromete a ofrecer productos de calidad a precios competitivos.

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Tubo de proceso sic

VeTek Semiconductor proporciona tubos de proceso de SiC de alto rendimiento para la fabricación de semiconductores. Nuestros tubos de proceso de SiC destacan en procesos de oxidación y difusión. Con calidad y mano de obra superiores, estos tubos ofrecen estabilidad a altas temperaturas y conductividad térmica para un procesamiento eficiente de semiconductores. Ofrecemos precios competitivos y buscamos ser su socio a largo plazo en China.

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Paleta voladiza de SiC

La paleta voladiza de SiC de VeTek Semiconductor se utiliza en hornos de tratamiento térmico para manipular y soportar barcos de obleas. La estabilidad a alta temperatura y la alta conductividad térmica del material de SiC garantizan una alta eficiencia y confiabilidad en el proceso de procesamiento de semiconductores. Estamos comprometidos a ofrecer productos de alta calidad a precios competitivos y esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.

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Barco de oblea de carburo de silicio para horno horizontal

El barco de oblea de SiC tiene altos requisitos en cuanto a pureza del material. Vetek Semiconductor suministra pureza de SiC >99,96% de SiC recristalizado a este producto. VeTek Semiconductor es un fabricante y proveedor profesional en China de barco de oblea de carburo de silicio para hornos horizontales, con años de experiencia en I+D y Producción, puede controlar bien la calidad y ofrecer un precio competitivo. Puede estar seguro de comprarnos el barco de oblea de carburo de silicio para horno horizontal.

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Bote de obleas de carburo de silicio recubierto de sic

El barco de oblea de carburo de silicio recubierto de SiC está diseñado con 165 ranuras para transportar obleas. VeTek Semiconductor es un fabricante y proveedor profesional en China de barco de oblea de carburo de silicio recubierto de SiC, con años de experiencia en I+D y producción, puede controlar bien la calidad y ofrecer un precio competitivo. precio. Bienvenido a visitar nuestra fábrica y tener más conversaciones sobre la cooperación.

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Paleta de voladizo de carburo de silicio

La paleta en voladizo de carburo de silicio de Vetek Semiconductor es un componente importante en el proceso de fabricación de semiconductores, especialmente adecuado para hornos de difusión o hornos de LPCVD en procesos de alta temperatura como la difusión y la RTP. Nuestra paleta en voladizo de carburo de silicio está cuidadosamente diseñado y fabricado con una excelente resistencia a alta temperatura y resistencia mecánica, y puede transportar obleas de manera segura y confiable al tubo de proceso en condiciones de proceso duras para varios procesos de alta temperatura, como difusión y RTP. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China. Según los informes para preguntarnos.

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Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

Como fabricante y proveedor profesional Horno de oxidación y difusión en China, tenemos nuestra propia fábrica. Ya sea que necesite servicios personalizados para satisfacer las necesidades específicas de su región o desee comprar Horno de oxidación y difusión avanzado y duradero realizados en China, puede dejarnos un mensaje.

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