Cerámica de carburo de silicio

VeTek Semiconductor es su socio innovador en el campo del procesamiento de semiconductores. Con nuestra amplia cartera de combinaciones de materiales cerámicos de carburo de silicio de grado semiconductor, capacidades de fabricación de componentes y servicios de ingeniería de aplicaciones, podemos ayudarle a superar desafíos importantes. Las cerámicas de carburo de silicio técnicas de ingeniería se aplican ampliamente en la industria de semiconductores debido a su excepcional rendimiento material. Las cerámicas de carburo de silicio ultrapuras de VeTek Semiconductor se utilizan con frecuencia durante todo el ciclo de fabricación y procesamiento de semiconductores.

DIFUSIÓN Y PROCESAMIENTO LPCVD

VeTek Semiconductor proporciona componentes cerámicos diseñados específicamente para los requisitos de difusión por lotes y LPCVD, que incluyen:

• Deflectores y soportes
• Inyectores
• Revestimientos y tubos de proceso
• Paletas voladizas de carburo de silicio
• Botes de oblea y pedestales

Paleta voladiza de SiC Tubos de proceso de SiC Tubo de proceso de carburo de silicio Barco de oblea vertical de SiC Barco de oblea horizontal de SiC Barco oblea cuadrado horizontal SiC Barco de oblea SiC LPCVD Barco de placa horizontal de SiC Anillo de sello de cerámica SiC

COMPONENTES DEL PROCESO DE GRABADO

Minimice la contaminación y el mantenimiento no programado con componentes de alta pureza diseñados para los rigores del procesamiento de grabado con plasma, que incluyen:

PROCESAMIENTO TÉRMICO RÁPIDO Y COMPONENTES DEL PROCESO EPITAXIAL

VeTek Semiconductor proporciona componentes de materiales avanzados diseñados para aplicaciones de procesamiento térmico de alta temperatura en la industria de los semiconductores. Estas aplicaciones abarcan RTP, procesos Epi, difusión, oxidación y recocido. Nuestras cerámicas técnicas están diseñadas para resistir choques térmicos, brindando un rendimiento confiable y consistente. Con los componentes de VeTek Semiconductor, los fabricantes de semiconductores pueden lograr un procesamiento térmico eficiente y de alta calidad, contribuyendo al éxito general de la producción de semiconductores.