Brazo robot de carburo de silicio

El brazo robótico de carburo de silicio de Veteksemicon es una solución de procesamiento de semiconductores de alta gama diseñada específicamente para entornos industriales duros. Utilizando la tecnología avanzada de material de carburo de silicio de alta pureza, demuestra una estabilidad y durabilidad excepcionales en altas temperaturas, entornos corrosivos y condiciones de vacío ultra altas. Como componente clave en los procesos de manejo, grabado y deposición de obleas, nuestro brazo robótico mejora significativamente la productividad y reduce los costos de mantenimiento.

Ⅰ. Parámetros técnicos

Ⅱ. Veteksemicon Silicon Carbide Robot Core Advestages

1. Tolerancia ambiental extrema

Nuestro Robot Arm utiliza un recubrimiento SIC formulado de forma única que sufre múltiples procesos de deposición de alta temperatura, lo que le permite mantener la integridad estructural a temperaturas sostenidas de 1500 ° C y resistir efectivamente la corrosión del bombardeo plasmático y los fuertes entornos ácidos y alcalinos. Esto aborda fundamentalmente los puntos débiles de los materiales tradicionales que son propensos al envejecimiento y tienen una breve vida útil en condiciones de trabajo extremas.

2. Excelentes propiedades mecánicas

Al adoptar una estructura compuesta del sustrato de grafito y el recubrimiento SIC, hemos logrado una rigidez que excede la de los materiales metálicos al tiempo que aseguramos que el brazo sea extremadamente liviano. Este diseño asegura que la deformación del brazo del robot sea extremadamente pequeño durante el movimiento recíproco de alta velocidad, suprimiendo efectivamente la fluctuación de fluctuación, controlando firmemente la precisión de posicionamiento de repetición dentro de ± 0.02 mm, asegurando la transmisión segura de obleas de precisión.

3.

Entendemos que la contaminación por partículas es el asesino número uno de rendimiento. Por lo tanto, cada brazo robot sufre pulido de precisión y tratamiento de superficie especializado, lo que resulta en una rugosidad de la superficie de menos de 0.1 μm. El recubrimiento se adhiere de forma segura, evitando cualquier riesgo de pelado. Nuestros productos son 100% probados en limpieza, cumplen completamente con los requisitos de sala limpia ultra alta y están listos para su uso en líneas de producción de última generación.

4. Larga vida útil

Gracias a la dureza inherente de SIC de 3000 HV y una excelente resistencia al desgaste, nuestros brazos de robot experimentan una degradación de rendimiento mínima incluso después de decenas de miles de ciclos de movimiento. Su vida útil es varias veces la de los componentes ordinarios de aleación de cerámica o aluminio, reduciendo significativamente el tiempo de inactividad para el reemplazo y el mantenimiento, ofreciendo una rentabilidad general significativa para nuestros clientes.

Ⅲ. Campos de aplicación principales

La verificación ecológica de la cadena ecológica de Robot Robot de Veteksemicon Silicon Carbide cubre las materias primas a la producción, ha aprobado la certificación estándar internacional y tiene una serie de tecnologías patentadas para garantizar su confiabilidad y sostenibilidad en los semiconductores y los nuevos campos de energía. Bienvenido para consultarnos en cualquier momento.