Materiales y diseño

Seleccionar la combinación adecuada de sustrato y recubrimiento es la clave para prevenir fallas prematuras de los componentes, reducir la contaminación por partículas y maximizar el rendimiento de las obleas. Proporcionamos soluciones de diseño estructural y de materiales a medida según la ventana de proceso específica del cliente (temperatura de funcionamiento, química del gas reactivo, velocidades de rampa).

Nuestras capacidades principales de diseño:

• Emparejamiento riguroso de estrés CTE:Para ciclos térmicos rápidos (>100 °C/min), igualamos con precisión las curvas de temperatura CTE de sustratos de grafito de alta pureza y recubrimientos CVD, reduciendo fundamentalmente el riesgo de delaminación y microfisuras del recubrimiento.
• Selección de recubrimientos específicos del escenario del proceso:Recubrimiento CVD SiC para epitaxia Si/SiC (Epi), MOCVD y entornos de grabado por plasma; Recubrimiento CVD TaC para condiciones de alta temperatura y fuertemente corrosivas (por ejemplo, crecimiento de PVT monocristalino de SiC).
• Optimización de resistividad controlable y conductividad térmica:Control preciso de la resistividad general y la conductividad térmica del sustrato y el recubrimiento para cumplir con los requisitos específicos de campo eléctrico y térmico de RF, mandriles electrostáticos ESC o zonas de calentamiento.
• Control de fuentes de contaminación y reducción de CoO:Las capas de deposición CVD de alta pureza sellan densamente el grafito poroso, lo que reduce significativamente el desprendimiento de partículas, la difusión de impurezas metálicas ultratrazas y el riesgo de desgasificación a alta temperatura.

Comparación típica de selección de recubrimientos (guía de un vistazo)

Caso real y beneficios para el cliente (experiencia):

Un fabricante líder de epitaxia de SiC (Epi):El componente original utilizaba un recubrimiento CVD TaC que no coincidía, lo que provocaba una tensión interfacial excesiva y frecuentes microfisuras a alta temperatura. Volvimos a ejecutar simulaciones termodinámicas y cambiamos a unSustrato de grafito especial de alta pureza compatible con CTE + capa amortiguadora + revestimiento CVD SiCsolución. Resultado: la vida útil promedio de los componentes aumentó de 200 horas a 850 horas; la frecuencia de reemplazo anual por herramienta se redujo de 40 a 9 veces; Los ahorros integrales en costos de operación y mantenimiento de equipos superaron los 650 000 RMB por año.

Informe de análisis de pureza GDMS para recubrimientos de TaC y SiC

Preguntas frecuentes

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