Nitruro de silicio

1. Excelente estabilidad química

La cerámica de nitruro de silicio tiene una excelente estabilidad química y puede soportar una variedad de ácidos fuertes, álcalis y gases corrosivos. En el proceso de fabricación de semiconductores a menudo necesita lidiar con productos químicos corrosivos, la cerámica de nitruro de silicio puede proporcionar una garantía de rendimiento estable a largo plazo.

2. Excelentes propiedades mecánicas

La cerámica de nitruro de silicio tiene alta dureza, excelente resistencia a la compresión y resistencia al desgaste, capaz de resistir el estrés mecánico y el desgaste de la superficie, no es fácil de deformación o ruptura. Esta propiedad mecánica la hace muy adecuada como material para piezas estructurales y de proceso en equipos de semiconductores.

3. Estabilidad a alta temperatura

La cerámica de nitruro de silicio puede mantener la estabilidad en entornos de alta temperatura, no fáciles de suavizar o derretir, y puede soportar el procesamiento y el manejo de alta temperatura en el proceso de fabricación de semiconductores. Esto permite que se use en la fabricación de componentes clave de equipos de procesos de alta temperatura, como pinzas, componentes de la cámara de reacción, etc.

4. Excelentes propiedades aislantes

Las propiedades aislantes son críticas en la fabricación de dispositivos de semiconductores. La cerámica de nitruro de silicio tiene buenas propiedades aislantes, que pueden aislar y proteger de manera efectiva los componentes del circuito de la fuga de corriente o la interferencia electromagnética, lo que ayuda a mejorar la estabilidad y la confiabilidad del dispositivo.

5. Conductividad térmica y conductividad térmica

La cerámica de nitruro de silicio tiene una alta conductividad térmica, puede conducir y disipar efectivamente el calor generado por el dispositivo, lo que ayuda a mantener la estabilidad de la temperatura del dispositivo en el proceso operativo. Esto es crítico para la operación de alto rendimiento de los dispositivos semiconductores.

1. Chucks electrostáticos y componentes de la cámara de grabado

La cerámica de nitruro de silicio a menudo se usa como materiales para chucks electrostáticos y componentes de la cámara de grabado en la fabricación de semiconductores debido a su excelente estabilidad química y alta resistencia a la temperatura. Los fucks electrostáticos se utilizan para fijar y estabilizar obleas o sustratos, mientras que los componentes de la cámara de grabado se usan para resistir gases corrosivos y entornos de alta temperatura.

2. Placas de distribución de gas y reflectores

La cerámica de nitruro de silicio también se usa en la fabricación de equipos de semiconductores en las placas y reflectores de distribución de gases. Las placas de distribución de gas se utilizan para distribuir uniformemente los gases reactivos o protectores en la cámara de reacción, mientras que los reflectores se usan para optimizar la distribución y el reflejo de la luz dentro de la cámara de reacción para mejorar la eficiencia de la reacción y la uniformidad.

3. Titulares y componentes térmicos

La cerámica de nitruro de silicio a menudo se usa como titulares y componentes de gestión térmica en equipos de fabricación de semiconductores. Estos componentes deben tener buena resistencia mecánica, resistencia al desgaste y conductividad térmica para garantizar la operación del equipo estable y la precisión del procesamiento de dispositivos.

4. Padres de pulido mecánico químico (CMP)

La cerámica de nitruro de silicio se usa ampliamente como material de almohadilla en el proceso de pulido mecánico químico (CMP). Tiene una excelente planitud y resistencia al desgaste, y puede proporcionar un soporte estable durante el proceso de pulido para garantizar la planitud y la precisión de la superficie de la oblea de semiconductores.