¿Qué materiales se utilizan en los componentes cerámicos semiconductores?

Cerámica de alúmina (al₂o₃) ‌

La cerámica de alúmina es el "caballo de batalla" para la fabricación de componentes de cerámica. Exhiben excelentes propiedades mecánicas, puntos de fusión ultra altos y dureza, resistencia a la corrosión, fuerte estabilidad química, alta resistividad y aislamiento eléctrico superior. Se usan comúnmente para fabricar placas de pulido, chucks de vacío, brazos de cerámica y partes similares.

Cerámica de nitruro de aluminio (ALN)

La cerámica de nitruro de aluminio cuenta con una alta conductividad térmica, un coeficiente de expansión térmica que coincide con el de silicio y baja constante y pérdida dieléctrica. Con ventajas como el alto punto de fusión, la dureza, la conductividad térmica y el aislamiento, se usan principalmente en sustratos de disipación de calor, boquillas cerámicas y chucks electrostáticos.

‌Ttria Ceramics (y₂o₃)

La cerámica de Yttria cuenta con un alto punto de fusión, excelente estabilidad química y fotoquímica, baja energía de fonones, alta conductividad térmica y buena transparencia. En la industria de los semiconductores, a menudo se combinan con cerámica de alúmina, por ejemplo, los recubrimientos de Yttria se aplican a la cerámica de alúmina para producir ventanas de cerámica.

‌Silicon Nitride Ceramics (Si₃n₄) ‌

La cerámica de nitruro de silicio se caracteriza por un alto punto de fusión, dureza excepcional, estabilidad química, bajo coeficiente de expansión térmica, alta conductividad térmica y resistencia de choque térmico fuerte. Mantienen una excelente resistencia y resistencia al impacto por debajo de 1200 ° C, lo que los hace ideales para sustratos de cerámica, ganchos de carga, alfileres de posicionamiento y tubos de cerámica.

‌Silicon Carbide Ceramics (SIC) ‌

Cerámica de carburo de silicio, que se asemejan a los diamantes en las propiedades, son materiales livianos, ultra duros y de alta resistencia. Con un rendimiento integral excepcional, resistencia al desgaste y resistencia a la corrosión, se usan ampliamente en asientos de válvulas, cojinetes deslizantes, quemadores, boquillas e intercambiadores de calor.

‌Zirconia Ceramics (Zro₂) ‌

La cerámica de circonio ofrece alta resistencia mecánica, resistencia al calor, resistencia ácida/álcali y un excelente aislamiento. Basado en el contenido de Zirconia, se clasifican en:

• Cerámica de precisión‌ (contenido superior al 99.9%, utilizado para sustratos de circuito integrado y materiales aislantes de alta frecuencia).
• Cerámica ordinaria‌ (para productos de cerámica de uso general).

Características estructurales deCerámica semiconductora Componentes

‌Dense Ceramics‌

La cerámica densa se usa ampliamente en la industria de semiconductores. Logran la densificación minimizando los poros y se preparan a través de métodos como sinterización de reacción, sinterización sin presión, sinterización de fase líquida, presión caliente y prensado isostático caliente.

‌ Cerámica por parte

A diferencia de la cerámica densa, las cerámicas porosas contienen un volumen controlado de vacíos. Se clasifican por tamaño de poro en cerámicas microporosas, mesoporosas y macroporosas. Con baja densidad aparente, estructura liviana, área de superficie específica grande, filtración efectiva/aislamiento térmico/propiedades de amortiguación acústica y rendimiento químico/físico estable, se utilizan para fabricar varios componentes en equipos semiconductores.