Anillo de recubrimiento SIC CVD

Hay muchas partes pequeñas en las partes de media luna, y el anillo de recubrimiento de SIC es una de ellas. Al aplicar una capa deRecubrimiento sic cvdEn la superficie del anillo de grafito de alta pureza mediante el método CVD, podemos obtener un anillo de recubrimiento CVD SiC. El anillo de revestimiento de SiC con revestimiento de SiC tiene excelentes propiedades como resistencia a altas temperaturas, excelentes propiedades mecánicas, estabilidad química, buena conductividad térmica, buen aislamiento eléctrico y excelente resistencia a la oxidación. Anillo de revestimiento de SiC CVD y revestimiento de SiCdirector de pompas fúnebrestrabajar juntos.

Anillo de recubrimiento de SiC y cooperación.director de pompas fúnebres

Las funciones del anillo de recubrimiento CVD SiC:

  ●   Distribución de flujo: El diseño geométrico del anillo de recubrimiento SIC ayuda a formar un campo de flujo de gas uniforme, de modo que el gas de reacción pueda cubrir uniformemente la superficie del sustrato, asegurando un crecimiento epitaxial uniforme.

  ●  Intercambio de calor y uniformidad de temperatura.: El anillo de recubrimiento de CVD SiC proporciona un buen rendimiento de intercambio de calor, manteniendo así una temperatura uniforme del anillo de recubrimiento de CVD SiC y del sustrato. Esto puede evitar defectos en el cristal causados ​​por fluctuaciones de temperatura.

  ●  Bloqueo de interfaz: El anillo de recubrimiento SIC CVD puede limitar la difusión de reactivos hasta cierto punto, de modo que reaccionan en un área específica, promoviendo así el crecimiento de cristales SIC de alta calidad.

  ●  Función de soporte: El anillo de recubrimiento CVD SIC se combina con el disco a continuación para formar una estructura estable para evitar la deformación en la alta temperatura y el entorno de reacción, y mantener la estabilidad general de la cámara de reacción.

Vetek Semiconductor siempre se compromete a proporcionar a los clientes anillos de recubrimiento CVD SIC de alta calidad y ayudar a los clientes a completar soluciones a los precios más competitivos. No importa qué tipo de anillo de recubrimiento SIC CVD necesite, ¡no dude en consultar el semiconductor Vetek!

DATOS SEM DE LA ESTRUCTURA CRISTALINA DE LA PELÍCULA CVD SIC:

Propiedades físicas básicas del recubrimiento SIC CVD: