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Parte de media luna superior sic recubierto
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Parte de media luna superior sic recubierto

Vetek Semiconductor es un proveedor líder de la parte personalizada de la media luna superior recubierta en China, especializada en materiales avanzados durante más de 20 años. Vetek Semiconductor Superior Halfmoon Parte Sic Coated está específicamente diseñado para equipos epitaxiales SIC, que sirve como un componente crucial en la cámara de reacción. Hecho de grafito ultra pure y de grado semiconductor, asegura un excelente rendimiento. Lo invitamos a visitar nuestra fábrica en China. Aprendida para consultar en cualquier momento.

Como fabricante profesional, nos gustaría proporcionarle una parte de alta calidad de media luna de alta calidad recubierta SIC.

Vetek semiconductor La parte superior de la media luna recubierta SIC está diseñada específicamente para la cámara epitaxial SIC. Tienen una amplia gama de aplicaciones y son compatibles con varios modelos de equipos.

Escenario de aplicación:

En Vetek Semiconductor, nos especializamos en la fabricación de la parte superior de la media luna de alta calidad. Nuestros productos recubiertos de SIC y TAC están diseñados específicamente para cámaras epitaxiales SIC y ofrecen una amplia compatibilidad con diferentes modelos de equipos.

Vetek Semiconductor Superior Halfmoon Parte Sic recubierto como componentes en la cámara epitaxial SIC. Aseguran condiciones de temperatura controlada y contacto indirecto con obleas, manteniendo contenido de impureza por debajo de 5 ppm.

Para garantizar una calidad óptima de la capa epitaxial, monitoreamos cuidadosamente los parámetros críticos, como el grosor y la uniformidad de la concentración de dopaje. Nuestra evaluación incluye analizar el grosor de la película, la concentración de portadores, la uniformidad y los datos de rugosidad de la superficie para lograr una mejor calidad del producto.

La parte Sic de media luna de semiconductores Vetek es compatible con varios modelos de equipos, incluidos LPE, Naura, JSG, CETC, NASO Tech y más.

Contáctenos hoy para explorar nuestra parte de alta calidad de media luna superior recubierta o programaciónE una visita a nuestra fábrica.


Propiedades físicas básicas del recubrimiento SIC CVD:

Propiedades físicas básicas del recubrimiento SIC CVD
Propiedad Valor típico
Estructura cristalina Policristalina de fase β FCC, principalmente (111) orientada
Densidad 3.21 g/cm³
Dureza 2500 Vickers Dureza (500 g de carga)
Tamaño de grano 2 ~ 10 mm
Pureza química 99.99995%
Capacidad de calor 640 j · kg-1· K-1
Temperatura de sublimación 2700 ℃
Resistencia a la flexión 415 MPA RT 4 puntos
Módulo de Young 430 GPA 4PT Bend, 1300 ℃
Conductividad térmica 300W · m-1· K-1
Expansión térmica (CTE) 4.5 × 10-6K-1


CVD SIC COATING FILM CRYSTAL STRUCTURE


Compare la tienda de producción de semiconductores:

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Descripción general de la cadena industrial de la epitaxia de chip de semiconductores:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


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    anny@veteksemi.com

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