Ultra puro grafito inferior media luna

Vetek Semiconductor es un fabricante profesional dedicado a proporcionar una media luna inferior de grafito ultra puro. Nuestros productos Ultra Pure Graphite Bajo Halfmoon están diseñados específicamente para cámaras epitaxiales SIC y ofrecen un rendimiento y compatibilidad superiores con varios modelos de equipos.

Características:

Conexión: Vetek Semiconductor Ultra Pure Graphite Halfmoon está diseñado para conectarse con tubos de cuarzo, facilitando el flujo de gas para impulsar la rotación de la base portadora.

Control de temperatura: El producto permite el control de la temperatura, asegurando condiciones óptimas dentro de la cámara de reacción.

Diseño sin contacto: instalado dentro de la cámara de reacción, nuestra media luna inferior de grafito ultra puro no contacta directamente con las obleas, asegurando la integridad del proceso.

Escenario de aplicación:

Nuestra media luna inferior de grafito ultra puro sirve como un componente crítico en cámaras epitaxiales SIC, donde ayuda a mantener el contenido de impurezas por debajo de las 5 ppm. Al monitorear de cerca los parámetros, como el grosor y la uniformidad de la concentración de dopaje, nos aseguramos de las capas epitaxiales de la más alta calidad.

Compatibilidad:

La media luna inferior de Graphite Ultra Pure de Vetek Semiconductor es compatible con una amplia gama de modelos de equipos, incluidos LPE, Naura, JSG, CETC, NASO Tech, etc.

Lo invitamos a visitar nuestra fábrica en China para explorar nuestra de alta calidad de grafito de grafito inferior de media luna de primera mano.

Propiedades físicas básicas del recubrimiento SIC CVD:

Compare la tienda de producción de semiconductores:

Descripción general de la cadena industrial de la epitaxia de chip de semiconductores: