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Pasador de elevación de obleas
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Pasador de elevación de obleas

Vetek Semiconductor es un fabricante líder de pines e innovador de elevadores EPI Wafer en China. Hemos sido especializados en recubrimiento SIC en la superficie del grafito durante muchos años. Ofrecemos un pasador de elevación de obleas EPI para el proceso EPI. Con un precio de alta calidad y competitivo, le damos la bienvenida para visitar nuestra fábrica en China.

Ofertas de semiconductores proporcionanRecubrimiento de SiCyrevestimiento de TaCMaterial con precio competitivo y alta calidad, bienvenido a consultarnos.


El pasador de elevación de obleas EPI de semiconductores Vetek es un dispositivo clave diseñado específicamente para la fabricación de semiconductores. Se utiliza para levantar y transportar obleas, asegurando su seguridad y estabilidad durante la fabricación. Proporcionamos el pasador de elevación de obleas recubierto de SIC, el pasador de punta, el anillo de precalentamiento para el proceso EPI.


Nuestros alfileres EPI Wafer Lift ofrecen las siguientes características y ventajas:

● Alta precisión y estabilidad: Los pasadores de elevación de obleas EPI utilizan procesos y materiales avanzados para garantizar una alta precisión y estabilidad al levantar y manejar obleas. Puede posicionar y arreglar con precisión las obleas, evitando la desviación y el daño de las obleas durante la fabricación.

● Seguridad y confiabilidad: Nuestros pasadores de elevación de obleas EPI se fabrican con materiales de alta resistencia para una excelente durabilidad y confiabilidad. Es capaz de resistir el peso y la presión, asegurando que la oblea no se dañe o se caiga accidentalmente durante el manejo.

● Automatización y eficiencia: Los pasadores de elevación de obleas de obleas de semiconductores Vetek están diseñados para operar de forma autónoma e integrarse perfectamente con los equipos de fabricación de semiconductores. Puede levantar y mover las obleas de manera rápida y precisa, aumentando la eficiencia de producción y reduciendo la necesidad de operaciones manuales.

● Compatibilidad y aplicabilidad: Los pasadores de elevación de obleas de EPI son adecuados para una amplia gama de tamaños y tipos de obleas, incluidas obleas de diferentes diámetros y materiales. Puede ser compatible con una variedad de equipos y procesos de fabricación de semiconductores y es adecuado para una variedad de entornos de producción.

● Soporte confiable y de alta calidad: Estamos comprometidos a proporcionar productos confiables y de alta calidad y proporcionar soporte y servicio integrales a nuestros clientes. Nuestros pasadores de elevación de obleas sufren un riguroso control de calidad y pruebas para garantizar su rendimiento y durabilidad.


Datos SEM de CVD SIC Film:

SEM DATA OF CVD SIC FILM

Propiedades físicas básicas del recubrimiento SIC CVD:

Propiedades físicas básicas deRecubrimiento sic cvd
Propiedad Valor típico
Estructura cristalina Policristalina de fase β FCC, principalmente (111) orientada
Densidad del recubrimiento CVD SiC 3,21 g/cm³
Dureza de recubrimiento SIC 2500 Vickers Dureza (500 g de carga)
Tamaño de grano 2 ~ 10 mm
Pureza química 99.99995%
Capacidad calorífica 640 j · kg-1·k-1
Temperatura de sublimación 2700 ℃
Resistencia a la flexión 415 MPA RT 4 puntos
Módulo de Young Curva de 430 Gpa 4 puntos, 1300 ℃
Conductividad térmica 300W·m-1·k-1
Expansión térmica (CTE) 4,5×10-6K-1


Semiconductores VeTek Pasador de elevación de obleasTienda de producción

SiC Graphite substrateWafer Lift Pin testSilicon carbide ceramic processingEPI process equipment


Descripción general de la cadena de la industria de la epitaxia de chips semiconductores:

SiC Epitaxy Si Epitaxy GaN Epitaxy

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