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Part de media luna de 8 pulgadas para reactor LPE
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Part de media luna de 8 pulgadas para reactor LPE

Vetek Semiconductor es un fabricante líder de equipos de semiconductores en China, centrándose en la I + D y la producción de una parte de media luna de 8 pulgadas para el reactor LPE. Hemos acumulado una rica experiencia a lo largo de los años, especialmente en materiales de recubrimiento SIC, y estamos comprometidos a proporcionar soluciones eficientes adaptadas para los reactores epitaxiales LPE. Nuestra parte de media luna de 8 pulgadas para el reactor LPE tiene un excelente rendimiento y compatibilidad, y es un componente clave indispensable en la fabricación epitaxial. Dé la bienvenida a su consulta para obtener más información sobre nuestros productos.


Como fabricante profesional, VeTek Semiconductor desea ofrecerle una pieza de media luna de 8 pulgadas de alta calidad para el reactor LPE.

La pieza de media luna de 8 pulgadas de VeTek Semiconductor para reactor LPE es un componente esencial utilizado en los procesos de fabricación de semiconductores, particularmente en equipos epitaxiales de SiC. VeTek Semiconductor emplea una tecnología patentada para producir una pieza de media luna de 8 pulgadas para el reactor LPE, lo que garantiza que posean una pureza excepcional, un recubrimiento uniforme y una longevidad excepcional. Además, estas piezas exhiben notables propiedades de resistencia química y estabilidad térmica.

El cuerpo principal de la parte de media luna de 8 pulgadas para el reactor LPE está hecho de grafito de alta pureza, que proporciona una excelente conductividad térmica y estabilidad mecánica. El grafito de alta pureza se elige por su bajo contenido de impureza, lo que garantiza una contaminación mínima durante el proceso de crecimiento epitaxial. Su robustez le permite resistir las condiciones exigentes dentro del reactor LPE.

Vetek Semiconductor Sic recubierto de grafito Las piezas de media luna se fabrican con la máxima precisión y atención al detalle. La alta pureza de los materiales utilizados garantiza un rendimiento y confiabilidad superiores en la fabricación de semiconductores. El recubrimiento uniforme en estas piezas garantiza una operación consistente y eficiente a lo largo de su vida útil.

Una de las principales ventajas de nuestras piezas de media luna de grafito recubiertas de SiC es su excelente resistencia química. Pueden resistir la naturaleza corrosiva del entorno de fabricación de semiconductores, lo que garantiza una durabilidad duradera y minimiza la necesidad de reemplazos frecuentes. Además, su excepcional estabilidad térmica les permite mantener su integridad estructural y funcionalidad en condiciones de alta temperatura.

Nuestras piezas de media luna de grafito recubiertas de SiC se han diseñado meticulosamente para cumplir con los estrictos requisitos de los equipos epitaxiales de SiC. Con su rendimiento confiable, estas piezas contribuyen al éxito de los procesos de crecimiento epitaxial, permitiendo la deposición de películas de SiC de alta calidad.


ESTRUCTURA CRISTALINA DE LA PELÍCULA DE RECUBRIMIENTO CVD SIC:


CVD SIC COATING FILM CRYSTAL STRUCTURE



Propiedades físicas básicas del recubrimiento SIC CVD:

Propiedades físicas básicas del recubrimiento SIC CVD
Propiedad Valor típico
Estructura cristalina Policristalina de fase β FCC, principalmente (111) orientada
Densidad 3.21 g/cm³
Dureza Dureza Vickers 2500 (carga de 500 g)
Tamaño de grano 2~10μm
Pureza química 99,99995%
Capacidad de calor 640 j · kg-1·k-1
Temperatura de sublimación 2700 ℃
Resistencia a la flexión 415 MPa RT de 4 puntos
Módulo de Young Curva de 430 Gpa 4 puntos, 1300 ℃
Conductividad térmica 300W·m-1·k-1
Expansión térmica (CTE) 4,5×10-6K-1


Taller de producción de semiconductores VeTek:

VeTek Semiconductor Production Shop


Descripción general de la cadena industrial de la epitaxia de chip de semiconductores:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


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