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Epitaxia de silicio

Epitaxia de silicio, EPI, epitaxia, epitaxial se refiere al crecimiento de una capa de cristal con la misma dirección de cristal y diferente espesor de cristal en un solo sustrato de silicio cristalino. Se requiere tecnología de crecimiento epitaxial para la fabricación de componentes discretos de semiconductores y circuitos integrados, porque las impurezas contenidas en los semiconductores incluyen tipo N y tipo P. A través de una combinación de diferentes tipos, los dispositivos semiconductores exhiben una variedad de funciones.


El método de crecimiento de la epitaxia de silicio se puede dividir en epitaxia de fase gaseosa, epitaxia de fase líquida (LPE), epitaxia de fase sólida, método de crecimiento de depósito de vapor químico se usa ampliamente en el mundo para cumplir con la integridad del celtez.


El equipo epitaxial de silicio típico está representado por la compañía italiana LPE, que tiene panitaxial hy pnotic tor, Tor de cañón Hy Pnotic, semiconductor hy pnotic, portador de obleas, etc. El diagrama esquemático de la cámara de reacción de reacción epitaxial HY del pelector en forma de barril es el siguiente. El semiconductor Vetek puede proporcionar obleas de obleas en forma de barril de hy Pelector. La calidad del Pelector Hy recubierto de SIC es muy madura. Calidad equivalente a SGL; Al mismo tiempo, el semiconductor Vetek también puede proporcionar boquilla de cuarzo de cavidad epitaxial de silicio de reacción epitaxial, deflector de cuarzo, campana y otros productos completos.


Susceptor epitaxial vertial para la epitaxia de silicio:


Schematic diagram of Vertical Epitaxial Susceptor for Silicon Epitaxy


Productos de susceptores epitaxiales verticales principales de Vetek Semiconductor


SiC Coated Graphite Barrel Susceptor for EPI Susceptor de barril de grafito recubierto de SIC para EPI SiC Coated Barrel Susceptor Susceptor de barril recubierto de sic CVD SiC Coated Barrel Susceptor Susceptor de barril recubierto de SIC CVD LPE SI EPI Susceptor Set LPE si el seguidor de EPI establece



Susceptor epitaxial horizonal para la epitaxia de silicio:


Schematic diagram of Horizontal Epitaxial Susceptor for Silicon Epitaxy


Productos de susceptores epitaxiales horizontales principales de Vetek Semiconductor


SiC coating Monocrystalline silicon epitaxial tray Sic recubrimiento monocristalino bandeja epitaxial SiC Coated Support for LPE PE2061S Soporte recubierto de SIC para LPE PE2061S Graphite Rotating Susceptor Soporte giratorio de grafito



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Cámara de reactor epitaxial recubierta de SiC

Cámara de reactor epitaxial recubierta de SiC

La cámara del reactor epitaxial recubierto de SiC Veteksemicon es un componente central diseñado para procesos de crecimiento epitaxial de semiconductores exigentes. Utilizando deposición química de vapor (CVD) avanzada, este producto forma un recubrimiento de SiC denso y de alta pureza sobre un sustrato de grafito de alta resistencia, lo que resulta en una estabilidad superior a altas temperaturas y resistencia a la corrosión. Resiste eficazmente los efectos corrosivos de los gases reactivos en entornos de proceso de alta temperatura, suprime significativamente la contaminación por partículas, garantiza una calidad constante del material epitaxial y un alto rendimiento, y extiende sustancialmente el ciclo de mantenimiento y la vida útil de la cámara de reacción. Es una opción clave para mejorar la eficiencia de fabricación y la confiabilidad de semiconductores de banda ancha como SiC y GaN.
Piezas del receptor EPI

Piezas del receptor EPI

En el proceso central del crecimiento epitaxial del carburo de silicio, Veteksemicon entiende que el rendimiento del susceptor determina directamente la calidad y la eficiencia de producción de la capa epitaxial. Nuestros susceptores EPI de alta pureza, diseñados específicamente para el campo de SiC, utilizan un sustrato de grafito especial y un recubrimiento denso de SiC CVD. Con su estabilidad térmica superior, excelente resistencia a la corrosión y tasa de generación de partículas extremadamente baja, garantizan un espesor y una uniformidad de dopaje incomparables para los clientes incluso en entornos de procesos hostiles a altas temperaturas. Elegir Veteksemicon significa elegir la piedra angular de la confiabilidad y el rendimiento para sus procesos avanzados de fabricación de semiconductores.
Recubrimiento de SiC Bandeja epitaxial de silicio monocristalino

Recubrimiento de SiC Bandeja epitaxial de silicio monocristalino

La bandeja epitaxial de silicio monocristalino de SIC es un accesorio importante para el horno de crecimiento epitaxial de silicio monocristalino, asegurando una contaminación mínima y un entorno de crecimiento epitaxial estable. La bandeja epitaxial monocristalina de recubrimiento SIC de Vetek Semiconductor tiene una vida útil ultra larga y proporciona una variedad de opciones de personalización. El semiconductor de Vetek espera convertirse en su socio a largo plazo en China.
CVD SIC Coating Barrel Susceptor

CVD SIC Coating Barrel Susceptor

Vetek Semiconductor CVD Sic Coating Barrel Susceptor es el componente central del horno epitaxial de tipo barril. Con la ayuda del susceptor de barril de recubrimiento CVD SIC, la cantidad y la calidad del crecimiento epitaxial se mejoran enormemente. Semiconductor espera establecer una relación cooperativa cercana con usted en la industria de semiconductores.
Soporte giratorio de grafito

Soporte giratorio de grafito

El susceptor rotativo de grafito de alta pureza juega un papel importante en el crecimiento epitaxial del nitruro de galio (proceso MOCVD). El semiconductor de Vetek es un fabricante y proveedor de susceptores giratorios líderes en China. Hemos desarrollado muchos productos de grafito de alta pureza basados ​​en materiales de grafito de alta pureza, que cumplen completamente con los requisitos de la industria de semiconductores. El semiconductor de Vetek espera convertirse en su socio en la rotación de Graphite susceptor.
Susceptor de panqueques SIC CVD

Susceptor de panqueques SIC CVD

Como fabricante líder e innovador de productos de susceptores de panqueques SIC CVD en China. Vetek semiconductor CVD SIC Pancake susceptor, como un componente en forma de disco diseñado para equipos de semiconductores, es un elemento clave para soportar obleas semiconductores delgadas durante la deposición epitaxial de alta temperatura. Vetek Semiconductor se compromete a proporcionar productos de susceptores SIC Pancake de alta calidad y convertirse en su socio a largo plazo en China a precios competitivos.

Veteksemicon silicon epitaxy solutions are your strategic procurement choice for advanced semiconductor wafer processing, particularly in CMOS, power devices, and MEMS applications. As a key process in wafer engineering, silicon epitaxy (Si Epi) involves the precise deposition of a crystalline silicon layer on top of a polished silicon wafer, offering superior control of doping profiles, defect density, and layer thickness.


Veteksemicon provides epitaxy-ready susceptor parts and reactor components used in Epi CVD systems, supporting both atmospheric and reduced pressure processes. Our product lineup includes silicon epitaxy susceptors, carrier rings, and coated wafer holders, optimized for compatibility with tools from Applied Materials, ASM, and Tokyo Electron (TEL).


Silicon epitaxy plays a critical role in producing ultra-thin junctions, strained silicon layers, and high-voltage isolation structures. Our materials and parts are engineered for high-purity, uniform thermal distribution, and anti-contamination performance during n-type and p-type epitaxial growth.


Closely associated terms include epitaxial wafer, in-situ doping, epitaxy-ready SiC coatings, and epi reactor parts, which support the entire upstream and downstream process of silicon-based IC fabrication.


Discover more about Veteksemicon’s silicon epitaxy support solutions by visiting our product detail page or contacting us for technical consultation and part customization.


Como fabricante y proveedor profesional Epitaxia de silicio en China, tenemos nuestra propia fábrica. Ya sea que necesite servicios personalizados para satisfacer las necesidades específicas de su región o desee comprar Epitaxia de silicio avanzado y duradero realizados en China, puede dejarnos un mensaje.
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