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Si el receptor de EPI
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Si el receptor de EPI

China Top Factory-Vetek Semiconductor combina mecanizado de precisión y capacidades de recubrimiento de semiconductores y recubrimiento TAC. El susceptor EPI de tipo Barrel SI proporciona capacidades de control de temperatura y atmósfera, mejorando la eficiencia de producción en los procesos de crecimiento epitaxial de semiconductores.

La siguiente es la introducción del Susceptor Si Epi de alta calidad, con la esperanza de ayudarlo a comprender mejor el Susceptor Si Epi tipo barril. ¡Bienvenidos clientes nuevos y antiguos a continuar cooperando con nosotros para crear un futuro mejor!

Un reactor epitaxial es un dispositivo especializado utilizado para el crecimiento epitaxial en la fabricación de semiconductores. El susceptor EPI de tipo Barrel SI proporciona un entorno que controla la temperatura, la atmósfera y otros parámetros clave para depositar nuevas capas de cristal en la superficie de la oblea.LPE SI EPI Susceptor Set


La principal ventaja del susceptor EPI de tipo barril es su capacidad para procesar múltiples chips simultáneamente, lo que aumenta la eficiencia de producción. Por lo general, tiene múltiples monturas o abrazaderas para mantener múltiples obleas para que se puedan cultivar múltiples obleas al mismo tiempo en el mismo ciclo de crecimiento. Esta característica de alto rendimiento reduce los ciclos de producción y los costos y mejora la eficiencia de producción.


Además, el susceptor EPI de Tipo SI de barril ofrece un control de temperatura y atmósfera optimizados. Está equipado con un sistema de control de temperatura avanzado que puede controlar y mantener con precisión la temperatura de crecimiento deseada. Al mismo tiempo, proporciona un buen control de atmósfera, asegurando que cada chip se cultive en las mismas condiciones de atmósfera. Esto ayuda a lograr un crecimiento uniforme de la capa epitaxial y mejorar la calidad y consistencia de la capa epitaxial.


En el susceptor EPI tipo SI de barril, el chip generalmente logra una distribución de temperatura uniforme y transferencia de calor a través del flujo de aire o el flujo de líquido. Esta distribución uniforme de temperatura ayuda a evitar la formación de puntos calientes y gradientes de temperatura, mejorando así la uniformidad de la capa epitaxial.


Otra ventaja es que el susceptor EPI de tipo Barrel Tipo SI proporciona flexibilidad y escalabilidad. Se puede ajustar y optimizar para diferentes materiales epitaxiales, tamaños de chips y parámetros de crecimiento. Esto permite a los investigadores e ingenieros llevar a cabo un rápido desarrollo y optimización de procesos para satisfacer las necesidades de crecimiento epitaxial de diferentes aplicaciones y requisitos.

Propiedades físicas básicas del recubrimiento CVD SiC:

Propiedades físicas básicas del recubrimiento SIC CVD
Propiedad Valor típico
Estructura cristalina FCC fase β policristalina, principalmente orientada (111)
Densidad del recubrimiento CVD SiC 3.21 g/cm³
Dureza del recubrimiento de SiC Dureza Vickers 2500 (carga de 500 g)
Tamaño de grano 2~10μm
Pureza química 99,99995%
Capacidad de calor 640 j · kg-1·k-1
Temperatura de sublimación 2700 ℃
Resistencia a la flexión 415 MPa RT de 4 puntos
Módulo de Young 430 GPA 4PT Bend, 1300 ℃
Conductividad térmica 300W · m-1·k-1
Expansión Térmica (CTE) 4,5×10-6K-1


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