Placa superior recubierta de SIC para LPE PE2061S

VeTek Semiconductor es un fabricante y proveedor profesional de placa superior recubierta de SiC en China para LPE PE2061S.

La placa superior recubierta de semiconductores Vetek Sic para LPE PE2061 en equipo epitaxial de silicio, utilizado junto con un susceptor de cuerpo de tipo barril para soportar y mantener las obleas epitaxiales (o sustratos) durante el proceso de crecimiento epitaxial.

La placa superior recubierta de SiC para LPE PE2061S generalmente está hecha de material de grafito estable a altas temperaturas. VeTek Semiconductor considera cuidadosamente factores como el coeficiente de expansión térmica al seleccionar el material de grafito más adecuado, asegurando una fuerte unión con el recubrimiento de carburo de silicio.

La placa superior recubierta de SIC para LPE PE2061s exhibe una excelente estabilidad térmica y resistencia química para resistir el entorno de alta temperatura y corrosiva durante el crecimiento de la epitaxia. Esto garantiza la estabilidad, confiabilidad y protección a largo plazo de las obleas.

En los equipos epitaxiales de silicio, la función principal de todo el reactor recubierto de CVD SiC es soportar las obleas y proporcionar una superficie de sustrato uniforme para el crecimiento de las capas epitaxiales. Además, permite ajustes en la posición y orientación de las obleas, lo que facilita el control de la temperatura y la dinámica de fluidos durante el proceso de crecimiento para lograr las condiciones de crecimiento deseadas y las características de la capa epitaxial.

Los productos de Semiconductor de Vetek ofrecen un grosor de recubrimiento de alta precisión y uniforme. La incorporación de una capa de amortiguación también extiende la vida útil del producto. En el equipo epitaxial de silicio, utilizado junto con un susceptor de cuerpo de tipo barril para soportar y mantener las obleas (o sustratos) epitaxiales durante el proceso de crecimiento epitaxial.

Propiedades físicas básicas del recubrimiento CVD SiC:

Comerciante semiconductor

Descripción general de la cadena de la industria de la epitaxia de chips semiconductores: