Susceptor de panqueques recubierto de SiC para obleas LPE PE3061S de 6''

Como fabricante profesional, Vetek Semiconductor le gustaría proporcionarle susceptor de panqueques recubierto de SIC de alta calidad para obleas LPE PE3061S 6 ''.

El susceptor de panqueque recubierto de SiC VeTeK Semiconductor para obleas LPE PE3061S de 6" es un equipo crítico utilizado en los procesos de fabricación de semiconductores.

Susceptor de panqueques recubierto de SiC para obleas LPE PE3061S de 6" Características del producto:

Estabilidad de alta temperatura: SIC exhibe una excelente estabilidad de alta temperatura, manteniendo su estructura y rendimiento en entornos de alta temperatura.

Excelente conductividad térmica: SIC tiene una conductividad térmica excepcional, lo que permite una transferencia de calor rápida y uniforme para calentamiento rápido e incluso.

Resistencia a la corrosión: SIC posee una excelente estabilidad química, resistencia a la corrosión y la oxidación en varios entornos de calentamiento.

Distribución uniforme del calor: el portador de oblea recubierto de SiC proporciona una distribución uniforme del calor, lo que garantiza una temperatura uniforme en toda la superficie de la oblea durante el calentamiento.

Adecuado para la producción de semiconductores: el portador de obleas de epitaxia SI se usa ampliamente en los procesos de fabricación de semiconductores, particularmente para el crecimiento de la epitaxia de SI y otros procesos de calefacción de alta temperatura.

Ventajas del producto:

Eficiencia de producción mejorada: el susceptor de panqueques recubiertos de SIC permite el calentamiento rápido y uniforme, reduciendo el tiempo de calentamiento y la mejora de la eficiencia de producción.

Calidad del producto garantizado: la distribución de calefacción uniforme garantiza la consistencia durante el procesamiento de la oblea, lo que lleva a una mejor calidad del producto.

Vida útil del equipo extendido: el material SIC ofrece una excelente resistencia al calor y estabilidad química, contribuyendo a una vida útil más larga del susceptor de panqueques.

Soluciones personalizadas: susceptor recubierto de SIC, SI Epitaxy Wafer Carrier se puede adaptar a diferentes tamaños y especificaciones basadas en los requisitos del cliente.

Propiedades físicas básicas del recubrimiento CVD SiC:

Taller de producción de semiconductores VeTek

Descripción general de la cadena de la industria de la epitaxia de chips semiconductores: