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Susceptor de barril de grafito recubierto de SIC para EPI
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Susceptor de barril de grafito recubierto de SIC para EPI

La base calefactora de oblea epitaxial tipo barril es un producto con tecnología de procesamiento complicada, que presenta un gran desafío para el equipo y la capacidad de mecanizado. Vetek semiconductor cuenta con equipos avanzados y amplia experiencia en el procesamiento de susceptores de barril de grafito recubiertos de SiC para EPI, puede proporcionar la misma vida útil que la fábrica original y barriles epitaxiales más rentables. Si está interesado en nuestros datos, no dude en contactarnos.
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Descripción del Producto

Vetek Semiconductor es el fabricante y proveedor de China que produce principalmente susceptor de barril de grafito recubierto de SIC para EPI con muchos años de experiencia. Espero construir una relación comercial contigo.Y (epitaxy)Es un proceso crítico en la fabricación de semiconductores avanzados. Implica la deposición de finas capas de material sobre un sustrato para crear estructuras complejas de dispositivos. Los susceptores de barril de grafito recubiertos de SiC para EPI se usan comúnmente como susceptores en reactores EPI debido a su excelente conductividad térmica y resistencia a altas temperaturas. ConRecubrimiento por cvd-sic, se vuelve más resistente a la contaminación, la erosión y el choque térmico. Esto da como resultado una vida útil más larga para el susceptor y una mejor calidad de la película.


Ventajas de nuestro susceptor de barril de grafito recubierto de SiC:


✔ Contaminación reducida: La naturaleza inerte de SIC evita que las impurezas se adhieran a la superficie del susceptor, reduciendo el riesgo de contaminación de las películas depositadas.

✔ Mayor resistencia a la erosión: El SiC es significativamente más resistente a la erosión que el grafito convencional, lo que prolonga la vida útil del susceptor.

✔ Estabilidad térmica mejorada: El SiC tiene una excelente conductividad térmica y puede soportar altas temperaturas sin una distorsión significativa.

✔ Calidad de película mejorada: La estabilidad térmica mejorada y la contaminación reducida dan como resultado películas depositadas de mayor calidad con una mejor uniformidad y un control de espesor.


Aplicaciones:

Los susceptores de cilindro de grafito recubiertos de SiC se utilizan ampliamente en diversas aplicaciones EPI, que incluyen:

✔ LED basados ​​en GaN

✔ Electrónica de potencia

✔ Dispositivos optoelectrónicos

✔ Transistores de alta frecuencia

✔ sensores

Parámetro del producto del susceptor de barril de grafito recubierto de SIC

Propiedades físicas degrafito isostático
Propiedad Unidad Valor típico
Densidad aparente gramos/cm³ 1.83
Dureza HSD 58
Resistividad eléctrica μΩ.m 10
Resistencia a la flexión MPA 47
Fuerza compresiva MPA 103
Resistencia a la tracción MPA 31
Módulo de Young GPA 11.8
Expansión térmica (CTE) 10-6K-1 4.6
Conductividad térmica W · m-1·k-1 130
Tamaño promedio de grano µm 8-10
Porosidad % 10
Contenido de cenizas PPM ≤10 (después de purificado)

        Nota: Antes del recubrimiento, haremos la primera purificación; después del recubrimiento, haremos la segunda purificación.

Propiedades físicas básicas del recubrimiento CVD SiC.

Propiedades físicas básicas del recubrimiento CVD SiC.
Propiedad Valor típico
Estructura cristalina FCC fase β policristalina, principalmente orientada (111)
Densidad del recubrimiento de SiC 3.21 gramos/cm³
Dureza de recubrimiento SIC CVD 2500 Vickers Dureza （500 g de carga）
Tamaño del grano 2~10µm
Pureza química 99,99995%
Capacidad calorífica 640 j · kg-1·k-1
Temperatura de sublimación 2700 ℃
Resistencia a la flexión 415 MPa RT de 4 puntos
Módulo de Young Curva de 430 Gpa 4 puntos, 1300 ℃
Conductividad térmica 300W · m-1·k-1
Expansión térmica (CTE) 4.5 × 10-6K-1

Semiconductores VeTekSusceptor de barril de grafito recubierto de SiC para EPITienda de producción

SiC Coated Graphite Barrel Susceptor for EPI products shops

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    Wangda Road, Ziyang Street, condado de Wuyi, ciudad de Jinhua, provincia de Zhejiang, China

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    +86-18069220752

  • Correo electrónico

    anny@veteksemi.com

Si tiene consultas sobre recubrimiento de carburo de silicio, recubrimiento de carburo de tantalio, grafito especial o lista de precios, déjenos su correo electrónico y nos comunicaremos con usted dentro de las 24 horas.
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