¿Qué es un barco de grafito PECVD?

Ⅰ. ¿Cuál es el material de PECVD Graphite Boat?

El material central deBote de grafito PECVD(Barco de grafito de deposición de vapor químico mejorado en plasma) está hecho de alta purezamaterial de grafito isotrópico(La pureza suele ser ≥99.999%), y se modifica por procesos especiales (como CVD de depósito de vapor químico o recubrimiento de superficie). El grafito de alta pureza se usa ampliamente en los sistemas PECVD debido a su excelente conductividad eléctrica y alta conductividad térmica (80 ~ 150 W/m · K). Estematerial de grafito de alta purezapuede mantener una buena estabilidad estructural y estabilidad química en entornos de alta temperatura, y puede resistir la corrosión de los gases reactivos y el plasma.

Ⅱ. ¿Cuáles son las propiedades físicas del barco de grafito?

Las propiedades físicas de los barcos de grafito PECVD incluyen:

● Conductividad eléctrica: El grafito isostático tiene una excelente conductividad eléctrica, lo que le permite administrar efectivamente la energía eléctrica y promover la generación y mantenimiento del plasma durante el proceso PECVD.

●  Conductividad térmica: La alta conductividad térmica del grafito (aproximadamente 80 ~ 150 w/m · k) ayuda a mantener un entorno de temperatura estable durante el proceso PECVD y garantizar la deposición uniforme de películas delgadas.

●  Densidad: La densidad del grafito policristalino comercial varía de 1.30 g/cm³ a ​​1.88 g/cm³. Cuanto mayor sea la densidad, mejores serán las propiedades físicas y mecánicas, lo que puede mejorar la vida útil del producto.

Ⅲ. ¿Cuáles son las ventajas del barco de grafito PECVD en comparación con el barco de grafito ordinario?

En comparación con los barcos de grafito ordinarios, los barcos de grafito PECVD tienen las siguientes ventajas:

Ⅳ. ¿Por qué elegir el barco Pecvd Graphite de Veteksemicon?

Como todos sabemos, Veteksemicon es un fabricante líder y proveedor de productos de recubrimiento de semiconductores yproductos de grafitoen China. NuestroBarcos de grafito PECVDse utilizan principalmente en las industrias semiconductores y fotovoltaicas, especialmente en los procesos PECVD y CVD.

Los barcos de grafito generalmente se usan como portadores para transportar obleas de silicio u otros materiales para garantizar el manejo seguro y el transporte de estos materiales en ambientes de alta temperatura y plasma. Por ejemplo, en el proceso de fabricación de semiconductores, los barcos de grafito PECVD de Veteksemicon están diseñados para procesos de deposición de vapor químico mejorado con plasma. El bote de grafito desempeña el papel de depositar capas de pasivación de nitruro de silicio (SINₓ) y películas de baja constante dieléctrica (bajo).

En el campo fotovoltaico, los barcos de grafito PECVD se utilizan para preparar células solares de película delgada a base de silicio (como las capas de pasivación de la espalda de células de silicio amorfo y de células Perc. El barco PECVD de grafito de Veteksemicon optimiza el proceso de recubrimiento al espaciar efectivamente las obleas de silicio e inducir la descarga de brillo para lograr una deposición de recubrimiento uniforme.

Más importante aún, Veteksemicon puede proporcionar productos y servicios técnicos personalizados, y puede diseñar y fabricar productos de Graphite Boat de diferentes especificaciones de acuerdo con los requisitos reales del proceso. Elegir Veteksemicon significa elegir a un líder de la industria con fuerte fortaleza en las industrias semiconductores y fotovoltaicas. Esperamos sinceramente convertirnos en su compañero a largo plazo.