Barco de oblea de cuarzo de alta pureza

El barco de oblea de cuarzo de alta pureza de VeTek Semiconductor está hecho de cuarzo de pureza ultra alta, que tiene las características de bajo contenido de hidroxilo, alta pureza y fuerte resistencia a altas temperaturas. Este material también se utiliza ampliamente en la industria de semiconductores como material para hornos de difusión y componentes de hornos CVD. Como contenedor para transportar obleas de silicio, la oblea de barco de cuarzo de alta pureza se ha utilizado en campos de semiconductores, fotovoltaicos, químicos y otros.

Escenarios de aplicación

El primero es el campo de los semiconductores. El proceso de tratamiento térmico de las obleas es muy importante, incluida la oxidación térmica, la difusión, el recocido, etc. A través del proceso de tratamiento térmico, le damos a las obleas nuevas características.

Los tubos de núcleo de horno por lotes se utilizan para procesos de procesamiento de obleas de semiconductores, como oxidación térmica, difusión de alta temperatura, recocido y deposición de películas delgadas. El horno de calefacción por lotes se usa principalmente para calentar el cuerpo del horno en bobinas para completar el tratamiento térmico. Según las diferentes estructuras de trabajo, los tubos de núcleo de horno por lotes se pueden dividir en hornos horizontales y hornos verticales:

(1) La oblea de cuarzo de alta pureza del horno horizontal se coloca horizontalmente, por lo que se denomina horno horizontal.

En el proceso de tratamiento térmico, la oblea se carga en el bote de obleas de cuarzo de alta pureza, se envía lentamente al tubo del horno de cuarzo y la oblea se coloca en una zona de temperatura constante para su procesamiento. Después de esperar a que se complete el proceso, el bote de cuarzo usado por la oblea se saca lentamente del horno de cuarzo para evitar que la oblea se dañe debido a cambios repentinos de temperatura. Los hornos horizontales se utilizan ampliamente en el proceso de difusión de los circuitos integrados con diámetros de obleas inferiores a 200 mm. 

Las ventajas de los hornos horizontales son el proceso simple, la buena uniformidad entre las obleas y la capacidad de procesar múltiples obleas al mismo tiempo. Las desventajas son la velocidad de calefacción lenta, el tamaño de equipo grande, la dificultad en la automatización y la fácil entrada de aire externo al cargar y descargar obleas.

(2) El bote de obleas de cuarzo de alta pureza del horno vertical se coloca verticalmente, por lo que se llama horno vertical.

La oblea se carga en la torre de cuarzo y sube lentamente hasta el tubo del horno de cuarzo para calentarla. Durante el proceso de calentamiento, el bote de oblea de cuarzo de alta pureza girará lentamente para garantizar que la oblea se caliente de manera uniforme. Después del procesamiento, la torre de cuarzo descenderá lentamente para evitar cambios de temperatura que puedan dañar las obleas. Los hornos verticales se utilizan principalmente en el proceso de circuito integrado de obleas de 200 mm y 300 mm de diámetro. La tecnología central de los hornos verticales radica en el control de campo de temperatura de alta precisión, el control de partículas, el control de microoxígeno del microambiente y la motorización. Las ventajas de los hornos verticales son una fina capa de óxido natural, buena uniformidad, una automatización más sencilla, un tamaño reducido del equipo y un procesamiento por lotes. La desventaja es que la velocidad de calentamiento es lenta.

En el campo fotovoltaico, el proceso de producción de las células fotovoltaicas requiere barcos de cuarzo para transportar y transportar obleas de silicio en el proceso de difusión de alta temperatura. El tratamiento de alta temperatura en un nitrógeno de alta pureza, oxígeno u otra atmósfera de gas inerte, como la difusión del fósforo o la difusión de boro, es un paso importante en el proceso de fabricación de las células solares. El propósito es formar una unión PN en la oblea de silicio.

El barco de cuarzo tiene ranuras diseñadas con precisión en el interior para garantizar que la oblea de silicio mantenga la posición exacta durante el proceso de difusión de alta temperatura y se calienta uniformemente. Debido a que el material de cuarzo tiene una buena resistencia a alta temperatura y estabilidad química, no contaminará la oblea de silicio, que es propicio para mantener una alta limpieza del entorno de producción.

Como innovador y líder en el mercado de barcos de cuarzo usados ​​Wafer de China, ya sea que se dedique a la industria de semiconductores o a la industria fotovoltaica, siempre que necesite un barco Wafer de cuarzo de alta pureza, solicítenos un presupuesto y podremos personalizarlo. para usted según sus necesidades.

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