Pedestal de cuarzo fusionado de Ald

El pedestal de cuarzo fundido ALD de VeTek Semiconductor desempeña un papel clave en el proceso de fabricación de semiconductores como estructura de soporte para elbote de cuarzo, que se usa para sostener eloblea. El pedestal de cuarzo fundido ayuda a lograr una deposición uniforme de la película manteniendo una temperatura estable, lo que afecta directamente el rendimiento y la confiabilidad de los dispositivos semiconductores. Además, Quartz Pedestal garantiza una distribución uniforme del calor y la luz en la cámara de proceso, mejorando así la calidad general del proceso de deposición.

Ventajas del material del pedestal de cuarzo fundido ALD

Alta resistencia a la temperatura: El punto de ablandamiento del pedestal de cuarzo fusionado es tan alto como aproximadamente 1730 ° C, y puede soportar un funcionamiento de alta temperatura de 1100 ° C a 1250 ° C durante mucho tiempo, y puede expuestos a entornos de temperatura extrema de hasta 1450 ° C por un corto tiempo.

Excelente resistencia a la corrosión: El cuarzo fusionado es altamente inerte químicamente a casi todos los ácidos, excepto el ácido hidrofluorico. Su resistencia al ácido es 30 veces mayor que la cerámica y 150 veces mayor que el acero inoxidable. El cuarzo fusionado es químicamente inigualable a altas temperaturas, lo que lo convierte en un material ideal para procesos químicos complejos.

Estabilidad térmica: Una característica clave del material de pedestal de cuarzo fusionado es su coeficiente extremadamente bajo de expansión térmica. Esto significa que puede manejar fácilmente las fluctuaciones de temperatura dramática sin agrietarse. Por ejemplo, la cuarzo de sílice fusionada se puede calentar rápidamente a 1100 ° C y sumergirse directamente en agua fría sin daños, una característica importante en las condiciones de fabricación de alto estrés.

Riguroso proceso de fabricación: El proceso de producción de pedestales de sílice fusionados se adhiere estrictamente a estándares de alta calidad. El proceso de producción utiliza procesos de formación en caliente y soldadura, que generalmente se completan en un entorno de sala limpia de clase 10,000. Posteriormente, el pedestal de vidrio de cuarzo fusionado se limpia a fondo con agua ultrapura (18 MΩ) para garantizar la pureza del producto y el rendimiento óptimo. Cada producto terminado es rigurosamente inspeccionado, limpiado y empaquetado en una sala limpia de clase 1,000 o más para cumplir con los altos estándares de la industria de semiconductores.

Material de cuarzo de sílice opaca de alta pureza

Veteksemi Ald fusionó el pedestal de cuarzo utiliza material de cuarzo opaco de alta pureza para aislar efectivamente el calor y la luz. Sus excelentes propiedades de blindaje de calor y protección de luz le permiten mantener una distribución de temperatura uniforme en la cámara de proceso, asegurando la uniformidad y la consistencia de delgadosdeposición de películaen la superficie de la oblea.

Campos de aplicación

Los pedestales de cuarzo fundido se utilizan ampliamente en muchos campos de la industria de los semiconductores debido a su excelente rendimiento. En elProceso de deposición de la capa atómica (ALD), apoya el control preciso del crecimiento de la película y garantiza el avance de los dispositivos semiconductores. En elProceso de deposición de vapor químico de baja presión (LPCVD), La estabilidad térmica y la capacidad de blindaje de luz del pedestal de cuarzo de alta pureza proporcionan garantías para la deposición uniforme de películas delgadas, mejorando así el rendimiento y el rendimiento del dispositivo.

Además, en el proceso de difusión de obleas, la resistencia a altas temperaturas y a la corrosión química del pedestal de cuarzo fundido garantizan la confiabilidad y consistencia del proceso de dopaje del material semiconductor. Estos procesos clave determinan el rendimiento eléctrico de los dispositivos semiconductores, y los materiales de cuarzo fundido de alta calidad desempeñan un papel indispensable para lograr los mejores resultados de estos procesos.

Tiendas de pedestales de cuarzo fundido ALD de VeTek Semiconductor: