Bote de grafito PECVD

Veteksemicon es un fabricante y proveedor profesional de barcos de grafito de China Pecvd.

¿Cuál es el papel del barco de grafito PECVD de células solares (revestimiento) de vetek semiconductores?

Como portador de obleas de silicio normales producidas por el proceso de recubrimiento, el bote de grafito tiene muchas obleas de botes con ciertos intervalos en la estructura, y hay un espacio muy estrecho entre las dos obleas adyacentes, y las obleas de silicio se colocan a ambos lados de la puerta vacía.

Debido a que el grafito del material de la embarcación de grafito PECVD tiene buenas propiedades de conductividad eléctrica y térmica, se solicita el voltaje de CA en los dos barcos adyacentes, de modo que los dos barcos adyacentes forman postes positivos y negativos, cuando hay una cierta presión y gas en la cámara, la descarga de brillo se produce entre los dos barcos, la descarga de GLOW puede descomponer el SH4 y NH3 gas en el espacio en el espacio, la descarga de SI y los ipiones. Las moléculas SINX se forman y se depositan en la superficie de la oblea de silicio para lograr el propósito del recubrimiento.

Los barcos de grafito PECVD generalmente se usan como portadores para transportar obleas de silicio u otros materiales para garantizar el manejo seguro y el transporte de estos materiales en ambientes de alta temperatura y plasma. Por ejemplo, en el proceso de fabricación de semiconductores, los barcos de grafito PECVD de Veteksemicon están diseñados para procesos de deposición de vapor químico mejorado con plasma. El bote de grafito desempeña el papel de depositar capas de pasivación de nitruro de silicio (SINₓ) y películas de baja constante dieléctrica (bajo).

En el campo fotovoltaico, los barcos de grafito PECVD se utilizan para preparar células solares de película delgada a base de silicio (como las capas de pasivación de la espalda de células de silicio amorfo y de células Perc. El barco PECVD de grafito de Veteksemicon optimiza el proceso de recubrimiento al espaciar efectivamente las obleas de silicio e inducir la descarga de brillo para lograr una deposición de recubrimiento uniforme.

Más importante aún, Veteksemicon puede proporcionar productos y servicios técnicos personalizados, y puede diseñar y fabricar productos de Graphite Boat de diferentes especificaciones de acuerdo con los requisitos reales del proceso. Esperamos sinceramente convertirnos en su compañero a largo plazo.

Y Las ventajas de la embarcación de grafito PECVD en comparación con el barco de grafito ordinario, simplemente haga clic