Recibe de disco de grafito

El susceptor de disco de grafito de Vetek Semiconductor, un producto de alto rendimiento para procesos avanzados de fabricación de semiconductores. Nuestro susceptor de disco de grafito está diseñado para cumplir con los requisitos exigentes de la industria y proporcionar un rendimiento y confiabilidad excepcionales. Este susceptor de disco de grafito es OEM para la plataforma del reactor planetario AIX G5.

GaN-on-Si MOCVD se utiliza para la producción epitaxial de LED y el reactor Aixtron G5 mejora el rendimiento y la uniformidad de la plataforma MOCVD. Un patrón uniforme simétrico completamente girado en cinco obleas de 200 mm, utilizando un sustrato de silicio de espesor estándar y controlando el comportamiento de flexión de la oblea formalizaron lo que necesitaban para la fabricación de silicio.

El susceptor de disco de grafito de alta puridad de Vetek Semiconductor para MOCVD Gan-on-Si, una solución confiable y rentable para procesos avanzados de fabricación de semiconductores.

Nuestro susceptor de disco de grafito de alta pureza está diseñado específicamente para cumplir con los requisitos de los procesos MOCVD de GaN-on-Si. Con su excepcional estabilidad térmica y resistencia al calor, puede soportar las exigentes condiciones de temperatura que suelen oscilar entre 800 °C y 1100 °C, lo que garantiza un rendimiento óptimo durante el proceso de deposición.

El material de grafito de alta pureza utilizado en nuestro susceptor de disco proporciona una excelente resistencia química, lo que lo hace compatible con el amoníaco (NH3) y los precursores de metales orgánicos comúnmente utilizados en GaN-on-Si MOCVD. Esto elimina la necesidad deRecubrimientos de SiC, reduciendo los costos de producción sin comprometer el rendimiento.

El susceptor de disco de grafito de alta pureza de Vetek Semiconductor ofrece una solución rentable sin comprometer la calidad. Su confiabilidad, durabilidad y compatibilidad con los procesos de MOCVD Gan-on-Si lo convierten en la opción preferida para los fabricantes de semiconductores. Trust Vetek Semiconductor para entregar susceptores de disco de grafito de alto rendimiento para sus necesidades de fabricación MOCVD GAN-on-Si.