¿Cómo elegir la bandeja de grafito MOCVD?

Pregunta 1: ¿Qué es la bandeja de grafito MOCVD y por qué es tan importante para el proceso epitaxial?

La placa de grafito de deposición de vapor químico metal-orgánico (MOCVD), también conocida como bandeja de grafito MOCVD o susceptor de grafito MOCVD, es un componente de alta pureza utilizado para fijar las obleas semiconductores durante el crecimiento epitaxial. En el proceso epitaxial, actúa como un elemento de calentamiento y garantiza una distribución de temperatura uniforme, lo que juega un papel irremplazable en el depósito de películas delgadas en aplicaciones como dispositivos semiconductores avanzados, fabricación LED y células solares.

La bandeja de grafito puede soportar temperaturas extremas (hasta 1.800 ° C) y ambientes de gas corrosivo, lo que lo convierte en un material indispensable para sistemas MOCVD resistentes a la corrosión y alta temperatura. Su rendimiento afecta directamente la consistencia del proceso y el rendimiento de la oblea.

Pregunta 2: ¿Qué propiedades del material deben priorizarse al seleccionar bandejas de grafito MOCVD?

Seleccionar la placa de grafito correcta requiere evaluar sus propiedades físicas y químicas:

● Alta pureza (más del 99.999%):

Por lo general, las impurezas como los metales o las cenizas pueden contaminar el proceso epitaxial. Elegir un proveedor de susceptores de grafito de alta pureza, como Veteksemicon, garantiza defectos mínimos en la epilapa de semiconductores.

●  Excelente estabilidad térmica:

Durante el procesamiento real, las placas de grafito deben poder resistir ciertos choques térmicos y mantener la integridad estructural en ciclos de temperatura rápidas. El grafito de alta densidad de Veteksemicon garantiza una distribución de calor uniforme, lo cual es crítico para el crecimiento de la película uniforme.

●  Excelente resistencia a la corrosión:

En el entorno del proceso MOCVD, el grafito generalmente está expuesto a gases corrosivos (por ejemplo, amoníaco, hidrógeno). Las placas de grafito MOCVD resistentes a la corrosión a alta temperatura con una estructura de grano fino minimizan la corrosión y extienden la vida útil.

●  Resistencia mecánica de alto rendimiento:

En el proceso epitaxial, las bandejas de grafito MOCVD deben admitir múltiples obleas sin deformación. Según las estadísticas de Veteksemicon en el procesamiento real, la resistencia a la flexión de la placa de grafito debe ser ≥50 MPa para evitar el agrietamiento de la bandeja.

P3: ¿Cómo afecta el escenario de la aplicación la selección de bandejas de grafito MOCVD?

Los diferentes procesos de MOCVD requieren diseños de placas de grafito a medida:

●  Crecimiento epitaxial de LED/Photonics:

Las placas de grafito MOCVD ultra suaves se utilizan en el proceso de epitaxia para reducir la generación de partículas y garantizar capas libres de defectos.

Por ejemplo, las placas de grafito MOCVD Veteksemicon (o las placas de grafito de Veteksemicon para MOCVD) están diseñadas para la epitaxia de Gaas y GaAs y proporcionan una gestión térmica optimizada.

●  Power Semiconductor Manufacturing:

Combinado con las estadísticas experimentales de semiconductores semikera, las placas con resistencia a la oxidación mejorada generalmente se prefieren para los procesos de carburo de silicio (SIC) o nitruro de galio (GaN).

●  Producción de alto rendimiento:

Las bandejas de múltiples obvias requieren un procesamiento preciso para alinearse con el diseño del reactor. Las bandejas de grafito MOCVD personalizables del proveedor confiable SemiKera Semiconductor pueden coincidir con configuraciones de herramientas específicas.

P4: ¿Cuáles son las consideraciones clave para encontrar un proveedor confiable de placas de grafito MOCVD?

●  Certificación y prueba:

Verifique que el proveedor proporcione certificación de material (por ejemplo, informe de pureza, prueba de densidad) y proporcione tratamiento de superficie posterior al procesamiento (por ejemplo, recubrimiento para reducir la porosidad). Como fabricante líder chino de recubrimiento semiconductores y equipos de procesos epitaxiales, los departamentos gubernamentales de Veteksemicon MOCVD han sido certificadas por los departamentos gubernamentales para experimentos de límites rigurosos, y los resultados de las pruebas de pureza y densidad de sus productos están muy por delante de sus pares.

●  Capacidades de personalización:

Los principales proveedores de susceptores de grafito de alta pureza deben personalizar el tamaño, el patrón de agujeros y el recubrimiento para cumplir con los requisitos de su reactor. Tanto Veteksemicon como Semikera Semiconductor tienen las capacidades de servicio de personalización de productos y tecnologías relacionadas, y son totalmente capaces de satisfacer sus diversas necesidades personalizadas.

●  Vida útil y eficiencia rentable:

Si bien el grafito más barato puede ahorrar costos iniciales, las placas de grafito inferiores conducirán a un reemplazo y un tiempo de inactividad frecuentes, afectando seriamente la eficiencia de producción normal. Elegir placas de grafito de Veteksemicon y otros productos de calidad permitirá a su negocio lograr una producción confiable a largo plazo.

P5: ¿Cómo extender la vida útil de las bandejas de grafito MOCVD?

●  Prevenir la oxidación: Use la purga de gas inerte durante los ciclos de calentamiento/enfriamiento.

●  Limpiar regularmente: Use métodos no abrasivos (como el grabado en seco) para eliminar los residuos depositados.

●  Evite el estrés mecánico: Maneje la bandeja cuidadosamente durante la carga/descarga de la oblea.

El mejor consejo de Veteksemicon para ti:

Para las placas de grafito MOCVD que son resistentes a la corrosión de alta temperatura, dan prioridad a los proveedores con experiencia en materiales de grado semiconductores.

Pruebe muestras en condiciones de proceso reales para verificar el rendimiento.

Explore los recubrimientos avanzados (como el recubrimiento SIC, el recubrimiento TAC) para mejorar la durabilidad y la confiabilidad en entornos extremos.

Para obtener más información sobre la placa de grafito MOCVD de recubrimiento SIC, haga clic aquí.

Para obtener más información sobre la placa de grafito MOCVD de recubrimiento TAC, haga clic aquí.