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Epitaxy Providence LED
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Epitaxy Providence LED

El susceptor de epitaxia LED de Vetek Semiconductor está diseñado para la fabricación epitaxial LED azul y verde. Combina el recubrimiento de carburo de silicio y el grafito SGL, y tiene alta dureza, baja rugosidad, buena estabilidad térmica y excelente estabilidad química. El susceptor de epitaxia LED es uno de los productos más destacados de Vetek Semiconductor. Esperamos su consulta.

En el campo de la fabricación LED azul y verde, el susceptor de epitaxia LED, como uno de los mejores productos en el mercado actual, demuestra las fuertes capacidades de fabricación de Vetek Semiconductor. El susceptor EPI LED está conectado a la perfección con el equipo AMEC MOCVD, que también prueba la buena relación cooperativa del semiconductor de Vetek con grandes empresas. Combinando el excelente rendimiento derevestimiento de carburo de silicioCon las excelentes características del grafito SGL, este susceptor proporciona un apoyo incomparable para el crecimiento epitaxial LED, lo que ayuda a las empresas lideradas a destacarse en la feroz competencia del mercado.


Ventajas de material central


(I) recubrimiento de carburo de silicio

El recubrimiento de carburo de silicio proporciona un susceptor de epitaxia LED excelente dureza superficial, lo que le permite resistir diversos desgaste físico y rasguños durante el crecimiento epitaxial LED. Mantener la planitud y la suavidad de la superficie durante mucho tiempo asegura que la uniformidad del crecimiento de la capa epitaxial no se vea afectada, mejorando efectivamente el rendimiento y la consistencia del producto. Reduciendo así la formación de defectos de cristal y mejorando significativamente la eficiencia luminosa y el rendimiento eléctrico de los LED azules y verdes. Al mismo tiempo, elrevestimiento de carburo de siliciotiene excelente estabilidad química. No reacciona con los reactivos químicos en el equipo MOCVD, evitando la introducción de impurezas y corrosión del recubrimiento.


(Ii) Grafito SGL

Vetek Semiconductor utiliza el grafito SGL como sustrato. Durante el crecimiento epitaxial de LED azul y verde, el grafito SGL puede realizar rápidamente el calor generado por la reacción, reduciendo efectivamente el gradiente de temperatura del susceptor y garantizando la uniformidad de temperatura de toda el área de crecimiento. Esto ayuda a reducir los defectos cristalinos causados ​​por el estrés térmico y mejorar la calidad del cristal y la confiabilidad de los chips LED.


El buen rendimiento de procesamiento del grafito SGL permite que el susceptor se procese con precisión en varias formas y tamaños complejos para satisfacer las necesidades de diferentes tipos de equipos de MOCVD y procesos de fabricación LED.


Indicadores de rendimiento técnico de recubrimiento SIC


Indicadores de rendimiento técnico de recubrimiento SIC
Propiedad
Valor típico
Estructura cristalina
Policristalina de fase β FCC, principalmente (111) orientada
Densidad de recubrimiento
3.21 g/cm³
Dureza de recubrimiento SIC
2500 Vickers Dureza (500 g de carga)
Tamaño de grano
2 ~ 10 mm
Pureza química
99.99995%
Capacidad de calor de recubrimiento SIC
640 j · kg-1· K-1
Temperatura de sublimación
2700 ℃
Resistencia a la flexión
415 MPA RT 4 puntos
Módulo de Young
430 GPA 4PT Bend, 1300 ℃
Conductividad térmica
300W · m-1· K-1
Expansión térmica (CTE)
4.5 × 10-6K-1

Vetek Semiconductor tiene un equipo técnico profesional que puede proporcionar a los clientes una gama completa de servicios de consultoría técnica para susceptor de epitaxia LED. Ya sea el principio y las características del producto, o la optimización de procesos y la resolución de problemas en aplicaciones reales, nuestros expertos pueden proporcionar orientación detallada y profesional para mejorar el nivel técnico y la capacidad de producción de los clientes.


Datos de SEM de CVD Sic Coating Film

SEM DATA OF CVD SIC COATING FILM


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