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Susceptor de MOCVD recubierto de SIC
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Susceptor de MOCVD recubierto de SIC

El susceptor MOCVD recubierto de SIC de Veteksemicon es un dispositivo con excelente proceso, durabilidad y confiabilidad. Pueden soportar ambientes químicos y de alta temperatura, mantener un rendimiento estable y una larga vida útil, reduciendo así la frecuencia de reemplazo y mantenimiento y mejorando la eficiencia de producción. Nuestro susceptor epitaxial MOCVD es reconocido por su alta densidad, excelente planitud y excelente control térmico, lo que lo convierte en el equipo preferido en entornos de fabricación hostiles. Espero cooperar con usted.

Vekekemicon'sMOCVD susceptores epitaxialesestán diseñados para soportar entornos de alta temperatura y condiciones químicas duras comunes en el proceso de producción de obleas. A través de la ingeniería de precisión, estos componentes se adaptan para cumplir con los requisitos estrictos de los sistemas de reactores epitaxiales. 


Nuestros susceptores epitaxiales de MOCVD están hechos de sustratos de grafito de alta calidad recubiertos con una capa decarburo de silicio (sic), que no solo tiene una excelente resistencia de alta temperatura y corrosión, sino que también garantiza una distribución de calor uniforme, lo cual es fundamental para mantener una deposición de película epitaxial consistente.


Además, nuestros susceptores de semiconductores tienen un excelente rendimiento térmico, lo que permite un control de temperatura rápido y uniforme para optimizar el proceso de crecimiento de semiconductores. Son capaces de resistir el ataque de alta temperatura, oxidación y corrosión, asegurando una operación confiable incluso en los entornos operativos más desafiantes.


Además, los susceptores MOCVD de recubrimiento de carburo de silicio están diseñados con un enfoque en la uniformidad, lo cual es fundamental para lograr sustratos de cristal único de alta calidad. El logro de la planitud es esencial para lograr un excelente crecimiento de un solo cristal en la superficie de la oblea.


En Veteksemicon, nuestra pasión por exceder los estándares de la industria es tan importante como nuestro compromiso con la rentabilidad para nuestros socios. Nos esforzamos por proporcionar productos como el susceptor epitaxial MOCVD para satisfacer las necesidades siempre cambiantes de la fabricación de semiconductores y anticipar sus tendencias de desarrollo para garantizar que su operación esté equipada con las herramientas más avanzadas. Esperamos construir una asociación a largo plazo con usted y proporcionarle soluciones de calidad.


Parámetro del producto del Susceptor de MOCVD recubierto de SIC

Propiedades físicas básicas del recubrimiento SIC CVD
Propiedad Valor típico
Estructura cristalina Policristalina de fase β FCC, principalmente (111) orientada
Densidad 3.21 g/cm³
Dureza 2500 Vickers Dureza (500 g de carga)
Tamaño de grano 2 ~ 10 mm
Pureza química 99.99995%
Capacidad de calor 640 j · kg-1· K-1
Temperatura de sublimación 2700 ℃
Resistencia a la flexión 415 MPA RT 4 puntos
Módulo de Young 430 GPA 4PT Bend, 1300 ℃
Conductividad térmica 300W · m-1· K-1
Expansión térmica (CTE) 4.5 × 10-6K-1


CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Datos de SEM de estructura cristalina de película SIC CVD

Veteksemicon Sic recubierto de MOCVD susceptor Comercio

SiC Coated MOCVD Susceptor Production Shop

Descripción general de la cadena industrial de epitaxia de chip de semiconductores:

semiconductor chip epitaxy industry chain


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