Barco de grafito para PECVD

Solicitud: El bote de grafito Veteksemicon para PECVD es un componente central en el proceso de deposición química de vapor mejorado por plasma. Está diseñado específicamente para depositar nitruro de silicio, óxido de silicio y otras películas delgadas de alta calidad sobre obleas de silicio, semiconductores compuestos y sustratos de paneles de visualización. Su desempeño determina directamente la uniformidad de la película, la estabilidad del proceso y el costo de producción.

Servicios que se pueden proporcionar: análisis de escenarios de aplicación del cliente, combinación de materiales, resolución de problemas técnicos.

Perfil de la empresa：Veteksemicon cuenta con 2 laboratorios, un equipo de expertos con 20 años de experiencia en materiales, con capacidades de I+D y producción, pruebas y verificación.

Información general del producto

Términos comerciales del producto

Principales campos de aplicación

Barco de grafito Veteksemicon para las principales ventajas de PECVD

1. Sustratos de alta pureza, controlando la contaminación desde la fuente.

Insistimos en utilizar grafito de alta pureza prensado isostáticamente con una pureza estable de más del 99,995 % como material base para garantizar que no precipite impurezas metálicas incluso en un entorno operativo continuo de 1600 °C. Este estricto requisito de material puede evitar directamente la degradación del rendimiento de las obleas causada por la contaminación del portador, proporcionando la garantía más fundamental para depositar películas de nitruro de silicio u óxido de silicio de alta calidad.

2. Campo térmico preciso y diseño estructural para garantizar la uniformidad del proceso.

A través de una extensa simulación de fluidos y datos de medición de procesos, hemos optimizado el ángulo de la ranura de la embarcación, la profundidad de la ranura guía y la ruta del flujo de gas. Esta meticulosa consideración estructural permite una distribución uniforme de los gases reactivos entre las obleas. Las mediciones reales muestran que a plena carga, la desviación de uniformidad del espesor de la película entre obleas en el mismo lote se puede controlar de manera estable dentro de ±1,5%, lo que mejora significativamente el rendimiento del producto.

3. Soluciones de recubrimiento personalizadas para abordar la corrosión de procesos específicos

Para satisfacer los diferentes entornos de gas de proceso de diferentes clientes, ofrecemos dos opciones de recubrimiento maduras: carbón pirolítico y carburo de silicio. Si deposita principalmente nitruro de silicio y utiliza limpieza con hidrógeno, el denso recubrimiento de carbón pirolítico puede proporcionar una excelente resistencia a la erosión del plasma de hidrógeno. Si su proceso implica gases de limpieza que contienen flúor, entonces el recubrimiento de carburo de silicio de alta dureza es una mejor opción. Puede extender la vida útil de la embarcación de grafito en ambientes altamente corrosivos a más de tres veces la de los productos ordinarios sin recubrimiento.

4. Excelente estabilidad al choque térmico, adaptable a ciclos de temperatura frecuentes.

Gracias a nuestra fórmula única de grafito y al diseño de nervaduras de refuerzo interno, nuestros botes de grafito pueden resistir los repetidos y rápidos choques de enfriamiento y calentamiento del proceso PECVD. En rigurosas pruebas de laboratorio, después de 500 ciclos térmicos rápidos desde temperatura ambiente hasta 800°C, la tasa de retención de resistencia a la flexión del barco aún superó el 90%, evitando efectivamente el agrietamiento causado por el estrés térmico y garantizando la continuidad y seguridad de la producción.

5. Aval de verificación de la cadena ecológica

El barco Veteksemicon Graphite para la verificación de la cadena ecológica de PECVD abarca desde las materias primas hasta la producción, ha pasado la certificación estándar internacional y tiene una serie de tecnologías patentadas para garantizar su confiabilidad y sostenibilidad en los campos de semiconductores y nuevas energías.

Para obtener especificaciones técnicas detalladas, documentos técnicos o arreglos de prueba de muestra, comuníquese con nuestro equipo de soporte técnico para explorar cómo Veteksemicon puede mejorar la eficiencia de su proceso.