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Deflector crisol de grafito recubierto de SIC
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Deflector crisol de grafito recubierto de SIC

El deflector de crisol de grafito recubierto de SIC es un componente clave en el equipo de horno de cristal único, su tarea es guiar el material fundido desde el crisol hasta la zona de crecimiento del cristal sin problemas y garantizar la calidad y la forma del crecimiento de los cristales individuales. Proporcione material de recubrimiento de grafito y sic. Aprendido para contactarnos para obtener más detalles.

VeTek Semiconducotr es un fabricante y proveedor profesional de deflector de crisol de grafito recubierto de SiC en China. El deflector de crisol de grafito recubierto de SiC es un componente crucial en el equipo de horno monocristalino, cuya tarea es guiar suavemente el material fundido desde el crisol hasta la zona de crecimiento de cristales, asegurando la calidad y la forma del crecimiento de monocristales.


Las funciones de nuestro deflector de crisol de grafito recubierto de SiC son:

Control de flujo: Dirige el flujo de silicio fundido durante el proceso Czochralski, asegurando una distribución uniforme y un movimiento controlado del silicio fundido para promover el crecimiento de cristales.

Regulación de la temperatura: ayuda a regular la distribución de temperatura dentro del silicio fundido, asegurando condiciones óptimas para el crecimiento del cristal y minimizando los gradientes de temperatura que podrían afectar la calidad del silicio monocristalino.

Prevención de contaminación: al controlar el flujo de silicio fundido, ayuda a prevenir la contaminación de las fuentes crisolas u otras fuentes, manteniendo la alta pureza requerida para las aplicaciones de semiconductores.

Estabilidad: el deflector contribuye a la estabilidad del proceso de crecimiento del cristal al reducir la turbulencia y promover un flujo constante de silicio fundido, que es crucial para lograr propiedades de cristal uniforme.

Facilitación del crecimiento de los cristales: al guiar el silicio fundido de manera controlada, el deflector facilita el crecimiento de un solo cristal de la silicio fundida, que es esencial para producir obleas de silicio monocristalinas de alta calidad utilizadas en la fabricación de semiconductores.


Parámetro del producto del deflector de crisol de grafito recubierto de SiC

Propiedades físicas del grafito isostático.
Propiedad Unidad Valor típico
Densidad masiva gramos/cm³ 1.83
Dureza HSD 58
Resistividad eléctrica μΩ.M 10
Resistencia a la flexión MPA 47
Fuerza compresiva MPA 103
Resistencia a la tracción MPA 31
Módulo de Young GPA 11.8
Expansión térmica (CTE) 10-6K-1 4.6
Conductividad térmica W · m-1·k-1 130
Tamaño promedio de grano µm 8-10
Porosidad % 10
Contenido de ceniza PPM ≤10 (después de purificado)

Nota: Antes de recubrir, haremos la primera purificación, después del recubrimiento, haremos la segunda purificación.


Propiedades físicas básicas del recubrimiento SIC CVD
Propiedad Valor típico
Estructura cristalina FCC fase β policristalina, principalmente orientada (111)
Densidad 3.21 gramos/cm³
Dureza 2500 Vickers Dureza (500 g de carga)
Tamaño de grano 2 ~ 10 mm
Pureza química 99,99995%
Capacidad calorífica 640 j · kg-1·k-1
Temperatura de sublimación 2700 ℃
Resistencia a la flexión 415 MPA RT 4 puntos
Módulo de Young Curva de 430 Gpa 4 puntos, 1300 ℃
Conductividad térmica 300W · m-1·k-1
Expansión Térmica (CTE) 4,5×10-6K-1


Taller de producción de semiconductores VeTek:

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