¿Qué tan delgado puede el proceso Taiko hacer obleas de silicio?

¿Cuál es el proceso Taiko?

El proceso de Taiko es una tecnología de adelgazamiento de obleas que deja el borde de la oblea sin pensar y solo se adelgaza el área central de la oblea. Esto permite que el área central de la oblea alcance un grosor extremadamente delgado, mientras que el borde de la oblea mantiene su grosor original.

¿Por qué usar el proceso Taiko?

Como se muestra en la figura anterior, el proceso de adelgazamiento tradicional le da toda la oblea, lo que hace que la estructura general de la oblea se vuelva muy frágil, extremadamente frágil durante el proceso de producción y una deformación excesiva, que no propicio para la fabricación posterior. El proceso Taiko le da a toda la oblea una mayor resistencia mecánica, lo que resuelve perfectamente este problema. ¿Por qué se llama el proceso Taiko? El proceso Taiko es un proceso inventado por la compañía de discoteca japonesa. La inspiración para su nombre proviene del tambor taiko japonés (tambor de taiko), que tiene bordes gruesos y partes intermedias más delgadas, de ahí el nombre.

¿Cuál es el grosor mínimo al que puede adelgazar el proceso Taiko?

La imagen de arriba muestra el efecto de una oblea de 8 pulgadas con un grosor de 50um. La segunda imagen en este artículo muestra el efecto de una oblea de 12 pulgadas adelgazada a 50um.

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