Gan Epitaxial Undertaker

El susceptor epitaxial GaN está diseñado para el proceso de crecimiento epitaxial de nitruro de galio (GaN) y es adecuado para tecnologías epitaxiales avanzadas, como la deposición de vapor químico de alta temperatura (CVD) y la deposición de vapor químico orgánico metálico (MOCVD). El susceptor está hecho de materiales resistentes a alta temperatura y alta temperatura para garantizar una excelente estabilidad en entornos de alta temperatura y múltiples gas, cumpliendo con los requisitos de proceso exigentes de dispositivos semiconductores avanzados, dispositivos de RF y campos LED.

Además, el susceptor Epitaxial de Vetek Semiconductor tiene las siguientes características del producto:

● Composición de material

Grafito de alta pureza: el grafito SGL se usa como sustrato, con un rendimiento excelente y estable.

Recubrimiento de carburo de silicio: proporciona una conductividad térmica extremadamente alta, una fuerte resistencia a la oxidación y resistencia a la corrosión química, adecuada para las necesidades de crecimiento de los dispositivos GaN de alta potencia. Muestra una excelente durabilidad y una larga vida útil en entornos duros, como CVD y MOCVD de alta temperatura, lo que puede reducir significativamente los costos de producción y la frecuencia de mantenimiento.

● Personalización

Tamaño personalizado: Vetek Semiconductor admite el servicio personalizado de acuerdo con las necesidades del cliente, el tamaño deldirector de pompas fúnebresy el agujero de la oblea se puede personalizar.

● Rango de temperatura de funcionamiento

El susceptor epitaxial de Veteksemi Gan podría soportar temperaturas de hasta 1200 ° C, asegurando una aliformidad y estabilidad de alta temperatura.

● Equipo aplicable

Nuestro susceptor de EPI Gan es compatible con la corriente principalEquipo MOCVDcomo Aixtron, Veeco, etc., adecuado para alta precisiónProceso epitaxial de GaN.

Veteksemi siempre se ha comprometido a proporcionar a los clientes los productos de susceptores epitaxiales GaN más adecuados y excelentes y espera convertirse en su socio a largo plazo. Vetek Semiconductor le brinda productos y servicios profesionales para ayudarlo a lograr mayores resultados en la industria de la epitaxia.

Estructura cristalina de película sic cvd

Propiedades físicas básicas del recubrimiento SIC CVD

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