Productos
Conjunto de receptores LPE SI EPI
  • Conjunto de receptores LPE SI EPIConjunto de receptores LPE SI EPI

Conjunto de receptores LPE SI EPI

El susceptor plano y el susceptor de barril son la forma principal de los susceptores epi. VeTek Semiconductor es un fabricante e innovador líder de conjuntos de susceptores LPE Si Epi en China. Nos hemos especializado en recubrimientos de SiC y recubrimientos de TaC durante muchos años. Ofrecemos un susceptor LPE Si Epi Conjunto diseñado específicamente para obleas LPE PE2061S de 4". El grado de coincidencia del material de grafito y el recubrimiento de SiC es bueno, la uniformidad es excelente y la vida útil es larga, lo que puede mejorar el rendimiento del crecimiento de la capa epitaxial durante el proceso LPE (epitaxia en fase líquida). Le invitamos a visitar nuestra fábrica en China.

Vetek Semiconductor es un LPE profesional de China si las cenas de EPI establecen al fabricante y proveedor. Con buena calidad y precio competitivo, le invitamos a visitar nuestra fábrica y establecer una cooperación a largo plazo con nosotros.


El conjunto de susceptores VeTeK Semiconductor LPE Si Epi es un producto de alto rendimiento creado aplicando una fina capa de carburo de silicio sobre la superficie de un material altamente purificado.grafito isotrópico. Esto se logra mediante el proceso de deposición química de vapor (CVD) patentado por VeTeK Semiconductor.


El conjunto de susceptores LPE SI EPI de Vetek Semiconductor es un reactor de barril de deposición epitaxial CVD diseñado para funcionar de manera confiable incluso en condiciones desafiantes. Su excepcional adhesión de recubrimiento, resistencia a la oxidación de alta temperatura y la corrosión lo convierten en una opción ideal para entornos hostiles. Además, su perfil térmico uniforme y su patrón de flujo de gas laminar evitan la contaminación, asegurando el crecimiento de capas epitaxiales de alta calidad.


El diseño en forma de barril de nuestro reactor epitaxial semiconductor optimiza el flujo de gas, asegurando que el calor se distribuya uniformemente. Esta característica previene eficazmente la contaminación y la difusión de impurezas, garantizando la producción de capas epitaxiales de alta calidad sobre sustratos de obleas.


En VeTek Semiconductor, estamos comprometidos a brindar a los clientes productos rentables y de alta calidad. Nuestro juego de susceptores LPE Si Epi ofrece precios competitivos y al mismo tiempo mantiene una densidad excelente tanto para el sustrato de grafito como pararevestimiento de carburo de silicio. Esta combinación garantiza una protección confiable en entornos de trabajo corrosivos y de alta temperatura.


DATOS SEM DE LA PELÍCULA CVD SIC

SEM DATA OF CVD SIC FILM


Propiedades físicas básicas del recubrimiento SIC CVD:

Propiedades físicas básicas del recubrimiento CVD SiC.
Propiedad Valor típico
Estructura cristalina FCC fase β policristalina, principalmente orientada (111)
Densidad del recubrimiento CVD SiC 3,21 g/cm³
Dureza del recubrimiento de SiC Dureza Vickers 2500 (carga de 500 g)
Tamaño de grano 2 ~ 10 mm
Pureza química 99,99995%
Capacidad de calor 640 J·kg-1·k-1
Temperatura de sublimación 2700 ℃
Resistencia a la flexión 415 MPA RT 4 puntos
Módulo de Young Curva de 430 Gpa 4 puntos, 1300 ℃
Conductividad térmica 300W · m-1·k-1
Expansión térmica (CTE) 4,5×10-6K-1


Es semiconductor Conjunto de receptores LPE SI EPITienda de producción

SiC Graphite substrateLPE SI EPI Susceptor Set testSilicon carbide ceramic processingEPI process equipment

Descripción general de la cadena de la industria de la epitaxia de chips semiconductores:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


Etiquetas calientes: Conjunto de receptores LPE SI EPI
Enviar Consulta
Datos de contacto
  • DIRECCIÓN

    Wangda Road, Ziyang Street, condado de Wuyi, ciudad de Jinhua, provincia de Zhejiang, China

  • Teléfono/

    +86-18069220752

  • Correo electrónico

    anny@veteksemi.com

Si tiene consultas sobre recubrimiento de carburo de silicio, recubrimiento de carburo de tantalio, grafito especial o lista de precios, déjenos su correo electrónico y nos comunicaremos con usted dentro de las 24 horas.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept