¿Qué es un fuck electrostático (ESC)?

El fuck electrostático (ESC), también conocido como el chuck electrostático (ESC, E-Chuck), es un accesorio que utiliza el principio de adsorción electrostática para sostener y fijar el material adsorbido. Es adecuado para entornos de vacío y plasma. Su función principal es adsorb ultra-Limpie las láminas delgadas (como las obleas de silicio) y mantenga el material adsorbido en una buena planitud, lo que también puede inhibir la deformación del material adsorbido durante el proceso y puede ajustar la temperatura del adsorbato.

Un fuck electrostático (ESC) es un tipo especial de chuck que utiliza fuerza electrostática para sostener, presionar y recoger objetos (piezas de trabajo). Cualquier material conlleva cargas positivas y negativas que son invisibles a simple vista. Cuando el material se coloca en el ESC y se aplica un voltaje bipolar a los electrodos internos del ESC, las cargas positivas y negativas se moverán dentro del material para que coincida con la polaridad de los electrodos internos del ESC. Esta atracción entre ESC y el material se llama fuerza electrostática y también es el principio fundamental detrás de nuestros Chucks.

Ventajas de productos

Tiene un amplio rango de temperatura de funcionamiento (-50 a 700 ℃)

Estas tazas de succión electrostática cuentan con excelente resistencia, conductividad térmica y resistencia al choque térmico, y pueden adaptarse a un amplio rango de temperatura a través del control de resistividad del volumen cerámico patentado de NGK.

Alta resistencia a la corrosión

Estas tazas de succión electrostática tienen una excelente resistencia a la corrosión a los gases halógenos.

Procesamiento de partículas bajas

Se puede lograr un tratamiento de partículas bajas a través del tratamiento de la superficie y la limpieza especial

Alta pureza

Los productos con una pureza del 99.9% o más también están disponibles.

Función de calentamiento

La tecnología de incrustación de elementos de calentamiento de alta precisión se puede integrar con la función del calentador, y la temperatura de la oblea se puede controlar dentro de ± 1%.

Función de enfriamiento

Estas copas de succión electrostática tienen un rendimiento de enfriamiento extremadamente alto al unir placas de cerámica con alta conductividad térmica y placas de enfriamiento.

Electrodo de radiofrecuencia

Los electrodos de metal a granel pueden proporcionar simultáneamente sujeción de obleas estables y generación de plasma de radiofrecuencia.

Parámetro

1.En el campo de la fabricación de semiconductores y electrónicos: durante los procesos de fabricación de semiconductores y electrónicos, las copas de succión electrostática se utilizan para fijar y manejar obleas de silicio delgadas y frágiles, obleas, etc. Sus ventajas se encuentran en una fuerte fuerza de adsorción, sin estrés mecánico y una operación simple, lo que mejora efectivamente la eficiencia de producción y la calidad del producto.

2. Industria de vidrio y cerámica: durante los procesos de corte, molienda y manejo de vidrio y cerámica, las tazas de succión electrostática pueden realizar operaciones no destructivas en materiales frágiles, reduciendo la velocidad de rotura del producto.

3. Fabricación de maquinaria de precisión y componentes ópticos: para maquinaria de precisión y componentes ópticos, las tazas de succión electrostática pueden proporcionar una fuerza de adsorción estable, evitando la deformación o los rasguños durante el procesamiento.

4. Líneas de producción automatizadas: en las líneas de producción automatizadas, las copas de succión electrostática se usan ampliamente en el posicionamiento, manejo y ensamblaje de piezas, etc., mejorando el grado de automatización y eficiencia de la línea de producción.