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Disco de rotación planetaria recubierta de carburo tantalum
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Disco de rotación planetaria recubierta de carburo tantalum

VeTek Semiconductor es un fabricante y proveedor líder de discos de rotación planetaria recubiertos de carburo de tantalio en China, y se centra en la tecnología de recubrimiento TaC durante muchos años. Nuestros productos tienen alta pureza y excelente resistencia a altas temperaturas, que son ampliamente reconocidos por los fabricantes de semiconductores. El disco de rotación planetaria recubierto de carburo de tantalio de VeTek Semiconductor se ha convertido en la columna vertebral de la industria de la epitaxia de obleas. Esperamos establecer una asociación a largo plazo con usted para promover conjuntamente el progreso tecnológico y la optimización de la producción.


El disco de rotación planetaria recubierto de carburo de tantalio de alta calidad lo ofrece el fabricante chino VeTek Semiconductor. ComprarTantalum carburo recubiertoDisco de rotación planetaria que es de alta calidad directamente con un precio bajo.

El disco de rotación planetaria recubierta de carburo Tantalum es un accesorio diseñado para el sistema Aixtron G10 MOCVD, con el objetivo de mejorar la eficiencia y la calidad en la fabricación de semiconductores. Hecho a partir de materiales de alta calidad y fabricados con precisión, el disco de rotación planetario recubierto de carburo de tantalum ofrece un rendimiento y confiabilidad sobresalientes paraDeposición de vapor químico metal-orgánico (Mocvd) procesos.

El disco planetario se construye utilizando un sustrato de grafito recubierto conCVD TAC, proporcionando excelente estabilidad térmica, alta pureza y resistencia a altas temperaturas.

Personalizable para adaptarse a diferentes tamaños de obleas semiconductoras, el disco planetario es adecuado para diversos requisitos de producción. Su construcción robusta está diseñada específicamente para soportar las exigentes condiciones operativas del sistema MOCVD, lo que garantiza un rendimiento duradero y minimiza el tiempo de inactividad y los costos de mantenimiento asociados con los portadores de obleas y susceptores.

Con el disco planetario, elSistema MOCVD AIXTRON G10puede lograr una mayor eficiencia y resultados superiores en la fabricación de semiconductores. Su estabilidad térmica excepcional, compatibilidad con diferentes tamaños de obleas y rendimiento confiable lo convierten en una herramienta esencial para optimizar la eficiencia de producción y lograr resultados sobresalientes en el desafiante entorno MOCVD.

Parámetro del producto del disco de rotación planetaria recubierta de carburo Tantalum:

Propiedades físicas del recubrimiento TAC
Densidad del recubrimiento TaC 14.3 (g/cm³)
Emisividad específica 0.3
Coeficiente de expansión térmica 6,3*10-6/K
Dureza de recubrimiento TAC (HK) 2000 Hong Kong
Resistencia 1×10-5Ohmios*cm
Estabilidad térmica <2500℃
Cambios de tamaño de grafito -10 ~ -20um
Espesor del revestimiento ≥20um valor típico (35um ± 10um)


Algan Barrier: Aliformidad de la composición de Al:

Al composition uniformity


Comerciante semiconductor:

VeTek Semiconductor Production Shop

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