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Tantalum Carbide Coated Chuck
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Tantalum Carbide Coated Chuck

Vetek Semiconductor es un fabricante e innovador de Chuck recubierto de carburo tantalum líder en China. Hemos sido especializados en el recubrimiento de TAC durante muchos años. Nuestros productos tienen una alta pureza y resistencia a la alta temperatura de hasta 2000. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.

Vetek Semiconductor Suministro de alta calidad Tantalum Carbide Chuck, piezas de recubrimiento SIC con un precio competitivo. Aprendiendo a los Estados Unidos. Este accesorio mejora la eficiencia y la calidad en la fabricación de semiconductores, brindando un rendimiento y confiabilidad sobresalientes.

Hecho a partir de materiales de alta calidad y fabricado con precisión, el Chuck presenta un sustrato de grafito recubierto con CVD Tantalum Carbide (TAC). Este recubrimiento proporciona una excelente estabilidad térmica, alta pureza y resistencia a altas temperaturas. Asegura un rendimiento confiable en las condiciones exigentes de los procesos MOCVD.

El Chuck es personalizable para acomodar diferentes tamaños de obleas de semiconductores, lo que lo hace adecuado para diversos requisitos de producción. Su construcción robusta minimiza el tiempo de inactividad y los costos de mantenimiento asociados con los transportistas y susceptores de obleas.

Con el chuck recubierto de carburo de vetek semiconductor tantalum, el sistema Aixtron G10 MOCVD logra una mayor eficiencia y resultados superiores en la fabricación de semiconductores. Su estabilidad térmica excepcional, compatibilidad con diferentes tamaños de obleas y rendimiento confiable lo convierten en una herramienta esencial para optimizar la eficiencia de producción y lograr resultados sobresalientes en el desafiante entorno MOCVD.


Parámetro del producto del tantalum carburo recubierto de chuck

Propiedades físicas del recubrimiento TAC
Densidad 14.3 (g/cm³)
Emisividad específica 0.3
Coeficiente de expansión térmica 6.3 10-6/K
Dureza (HK) 2000 HK
Resistencia 1 × 10-5Ohm*cm
Estabilidad térmica <2500 ℃
Cambios de tamaño de grafito -10 ~ -20um
Espesor de revestimiento ≥20um valor típico (35um ± 10um)


Rendimiento de la oblea después de usar nuestros componentes:

Wafer performance after using our components


Compare la tienda de producción de semiconductores:

VeTek Semiconductor Production Shop


Descripción general de la cadena industrial de la epitaxia de chip de semiconductores:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


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