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Pieza de media luna recubierta de carburo de tantalio para LPE
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Pieza de media luna recubierta de carburo de tantalio para LPE

VeTek Semiconductor es un proveedor líder de piezas de media luna recubiertas de carburo de tantalio para LPE en China y se centra en la tecnología de recubrimiento TaC durante muchos años. Nuestra pieza de media luna recubierta de carburo de tantalio para LPE está diseñada para el proceso de epitaxia en fase líquida y puede soportar altas temperaturas de más de 2000 grados Celsius. Con un excelente rendimiento de materiales e innovación de procesos, la vida útil de nuestros productos se encuentra en el nivel líder en la industria. VeTek Semiconductor espera ser su socio a largo plazo en China.

Como fabricante profesional, VeTek Semiconductor desea ofrecerle una pieza de media luna recubierta de carburo de tantalio de alta calidad para LPE.

VeTek Semiconductor es un fabricante líder profesional de SiC, recubrimiento de TaC y SiC sólido de China con alta calidad y precio razonable. Nuestra pieza de media luna recubierta de carburo de tantalio para LPE se utiliza en la cámara de reacción de equipos de epitaxia horizontales y verticales para transportar sustrato, control de temperatura y calor. preservación, ventilación, protección y otras funciones, para controlar conjuntamente el espesor, el dopaje, los defectos y otras características del material del crecimiento de la capa de epitaxia de SiC dentro de la cámara de reacción.

Productos relacionados con VeTek Semiconductor: media luna superior, media luna inferior, cubierta protectora, cubierta aislante, interfaz de desviación de aire de proceso. Nuestra empresa se compromete a proporcionar a los clientes una gama completa de soluciones de componentes de cámaras de reacción recubiertas de SiC y TaC.


Parámetro del producto de la pieza de media luna recubierta de carburo de tantalio para LPE

Propiedades físicas del recubrimiento TaC.
Densidad 14,3 (g/cm³)
Emisividad específica 0.3
Coeficiente de expansión térmica 6,3×10-6/K
Dureza (HK) 2000 Hong Kong
Resistencia 1×10-5Ohmios*cm
Estabilidad térmica <2500℃
Cambios de tamaño de grafito -10~-20um
Espesor del recubrimiento Valor típico ≥20um (35um±10um)


Taller de producción de semiconductores VeTek:

VeTek Semiconductor Production Shop


Descripción general de la cadena de la industria de la epitaxia de chips semiconductores:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


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