Desde el proceso de fabricación de las tazas de succión electrostática hasta los fabricantes de producción en masa

El principio de dechuck delFuck electrostáticoes una parte clave de su flujo de trabajo que implica la eliminación de la fuerza electrostática y los mecanismos de liberación de la oblea. El siguiente es un análisis detallado:

El núcleo de Dichuck es eliminar o neutralizar la fuerza electrostática adsorbida en la oblea, y los métodos específicos incluyen:

Youdaoplaceholder0 corta la energía

Deje de aplicar un voltaje de corriente continua al electrodo para eliminar gradualmente el campo eléctrico.

YoudaoplaceHolder0 Voltaje inverso o inyección de gas ‌

Algunos sistemas aplicarán voltaje inverso o introducirán gases inerte (como HE, N₂) para acelerar la neutralización de carga o la separación física.

Comparemos las técnicas profesionales de la producción de ESC y primero veamos si la empresa puede alcanzar tal escala.

Tecnología de análisis CAE, materiales funcionales de placa, diseño de electrodos, tecnología de análisis, tecnología de canales de enfriamiento, tecnología de diseño de calentadores, personal senior en equipos de semiconductores.

Las empresas japonesas y surcoreanas deben estar totalmente atendidas con un personal tan relevante. Si no, no hay necesidad de hablar sobre la tecnología de la compañía.

La tecnología Chuck, los electrodos, los discos e incluso el principio de flujo de HE aún no se han aclarado. Hagamos una taza de succión electrostática áspera. Dichas empresas se transmiten directamente. Básicamente se usan para controlar el dinero de los inversores. Este es el nivel básico de saber cómo. Los inversores también deben renunciar a una empresa que juega con juegos de cartas y no tiene empleados con más de 10 años de experiencia en equipos de grabado, porque esta no es una empresa que hace cosas prácticas.

Cuando se trata de disparar en polvo en la industria, todos están en el mismo campo. Cada uno tiene su propia fórmula única. ¿Cuál no tiene la fuerza para estar equipado con superficies cerámicas sinterizadas? Los inversores también pueden transmitir estas configuraciones o empresas que no las han comprendido por completo, porque su lógica fundamental es la misma: su objetivo es ganar dinero, no desarrollar productos.

Con respecto a la reparación, muchas empresas nacionales deberían tener las capacidades correspondientes para L1 a L3 por ahora. Incluso si las capacidades son un poco faltantes, L1 aún puede manejarlo. Para L3 y superior, no se puede reparar o se puede subcontratarse. En cualquier caso, todavía hay una manera de repararlo.

L1 Reparación de la superficie de reparación, mejora de la rugosidad de la superficie/mejora de la planitud/regeneración de la protuberancia.

Reparación de L2: reparación de la capa de articulación, reembolso de la base de metal y disco de cerámica/re-relleno de la capa de la junta.

L3 Reemplazo de disco de cerámica de L3, fabricación/reembolso de disco de cerámica de base de metal y disco de cerámica.

Guangdong Haituo Innovation Precision Equipation Co., Ltd

La compañía ocupa una posición de liderazgo en el diseño y producción de fucks y equipos electrostáticos domésticos basados ​​en fucks electrostáticos como tecnología central. En la actualidad, Haituo Innovation ha logrado la producción comercial de tazas de succión electrostática y ha completado la entrega de fucks electrostáticos fabuláticos de semiconductores de 4 pulgadas a 12 pulgadas.

Beijing Huazhuo Jingke Technology Co., Ltd

Las tazas de succión electrostáticas desarrolladas de forma independiente por la compañía cumplen con los estándares y el procesamiento relevantesRequisitos de la industria de semiconductores. Las tazas de succión electrostática de nitruro de aluminio PVD de 12 pulgadas desarrolladas en la etapa inicial han roto, hasta cierto punto, el monopolio a largo plazo de los fabricantes extranjeros en este campo de productos. En la actualidad, Huazhuo Jingke ha aplicado la tecnología relacionada de las copas de succión electrostática a la fabricación de productos y ha logrado la producción en masa a pequeña escala. También puede proporcionar productos personalizados para los clientes.

Fundada en 2016 es un proveedor líder de materiales de recubrimiento avanzados para la industria de semiconductores. Nuestro fundador, un ex experto del Instituto de Materiales de la Academia de Ciencias de China, estableció a la compañía con un enfoque en desarrollar soluciones de vanguardia para la industria.

Nuestras principales ofertas de productos incluyen recubrimientos CVD de carburo de silicio (SIC), recubrimientos de carburo tantalum (TAC), sic a granel, polvos SiC y materiales SIC de alta pureza. Los productos principales son susceptores de grafito recubiertos de SIC, anillos de precalentamiento, anillo de desvío recubierto de TAC, piezas de media luna, etc., la pureza está por debajo de 5 ppm, puede cumplir con los requisitos del cliente.

Zhejiang Xinna Material Technology Co., Ltd

Los productos electrostáticos de copa de succión desarrollados por TI tienen indicadores de rendimiento que pueden satisfacer las demandas de las empresas de fabricación de chips. Cuentan con propiedades sobresalientes, como temperatura controlable, fuerza de adsorción uniforme, sin rasguños o arrugas durante la adsorción, y sin efecto de exclusión de borde en las obleas. Han sido certificados por las principales empresas nacionales de la industria de semiconductores como Yangtze Memory Technologies, Silan Microelectronics e North China Innovation y han logrado ventas. Ha roto el monopolio de los fabricantes extranjeros en este campo de productos.

Hebei Zhongci Electronic Technology Co., Ltd

En 2022, la compañía realizó movimientos estratégicos en el campo de los componentes cerámicos de precisión, logrando la localización de piezas de precisión altamente técnicas, como placas de calefacción y chucks electrostáticos. Los indicadores técnicos centrales de las placas de calefacción de cerámica desarrolladas por Zhongci Electronics han alcanzado el nivel de productos internacionales similares y han sido verificados por los usuarios. Se han aplicado en lotes en equipos de semiconductores domésticos clave. Las placas de calefacción de cerámica se han entregado a granel, y se han enviado fucks electrostáticos para pruebas de muestra.