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EP liderado por Veeco
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EP liderado por Veeco

El susceptor EPI de Vetek Semiconductor Veeco está diseñado para el crecimiento epitaxial de LED rojos y amarillos. Los materiales avanzados y la tecnología de recubrimiento CVD SIC garantizan la estabilidad térmica del susceptor, lo que hace que el campo de temperatura sea uniforme durante el crecimiento, reduciendo los defectos cristalinos y mejorando la calidad y consistencia de las obleas epitaxiales. Es compatible con el equipo de crecimiento epitaxial de Veeco y puede integrarse sin problemas en la línea de producción. El diseño preciso y el rendimiento confiable ayudan a mejorar la eficiencia y reducir los costos. Esperamos sus consultas.

LED es un dispositivo semiconductor de estado sólido que puede convertir la energía eléctrica en luz visible. Al aplicar un voltaje directo a la unión P-N, los electrones y los agujeros se recombinan en la unión P-N. Cuando los electrones saltan de un alto nivel de energía a un bajo nivel de energía, se libera energía, que se emite en forma de fotones, generando así la luz. Los diferentes materiales de semiconductores emiten diferentes colores de luz. LED tiene una alta eficiencia luminosa y puede convertir directamente la mayoría de la energía eléctrica en energía ligera. Por lo general, tiene una larga vida útil y es muy amigable con el medio ambiente.


Working diagram of VEECO LED EPI Susceptor

El fosfuro de indio de aluminio galio (AlgainP) es el material principal para hacer LED rojos y amarillos. Al ajustar la relación de composición de aluminio (AL), galio (GA), indio (IN) y fósforo (P) en el material, el espacio de banda del material se puede cambiar, logrando así la emisión de luz de rojo a amarillo. En el proceso de fabricación, el crecimiento epitaxial es un paso clave. La epitaxia algainp generalmente adoptaTecnología de deposición de vapor químico orgánico de metal (MOCVD). Al cultivar la capa epitaxial de LED rojo, la relación y las condiciones de reacción de las materias primas como el trimetilaluminio, el trimetilgalio, el trimetilindio y la fosfina se controlan para que el material final pueda emitir luz roja.


Incluso la distribución y el control efectivo del calor son críticos en el proceso de crecimiento epitaxial de los LED rojos y amarillos. El susceptor EPI de Vetek Semiconductor Veeco tiene una excelente conductividad térmica, que puede realizar calor de manera rápida y uniforme para garantizar una desviación mínima en la uniformidad de temperatura en toda la superficie de la oblea. Mejorar significativamente la tasa de crecimiento y la calidad de la epilapa.


Uso de grafito SGL y avanzadoRecubrimiento sic cvdTecnología, el susceptor EPI dirigido por Vetek Semiconductor de Veeco tiene una excelente durabilidad. Es indistinguible del susceptor original en la mayor medida. Siempre mantiene la estabilidad durante los procesos de producción de MOCVD de alta intensidad a largo plazo. El susceptor EPI de Vetek Semiconductor Veeco demuestra una fuerte resistencia a la corrosión y la deformación. Esto significa que las empresas no necesitan reemplazar con frecuencia al susceptor, reduciendo en gran medida el costo de mantenimiento y el tiempo de inactividad de los equipos de producción.


Vetek Semiconductor considera completamente las necesidades individuales de diferentes clientes en el proceso de fabricación LED rojo y amarillo. Vetek Semiconductor puede proporcionar soluciones de susceptores EPI LED Veeco personalizadas para la producción de obleas de tamaños específicos o parámetros de proceso especiales.


El equipo técnico profesional de Vetek Semiconductor se comunicará con los clientes en profundidad para adaptar los productos de susceptores más adecuados de acuerdo con sus escenarios de aplicaciones específicos, configuraciones de equipos y objetivos de producción, ayudando a las empresas a lograr avances tecnológicos y actualizaciones de productos.


Datos de SEM de CVD Sic Coating Film:

SEM DATA OF CVD SIC COATING FILM


Propiedades físicas básicas del recubrimiento SIC CVD:

Propiedades físicas básicas del recubrimiento SIC CVD
Propiedad
Valor típico
Estructura cristalina
Policristalina de fase β FCC, principalmente (111) orientada
Densidad de recubrimiento
3.21 g/cm³
Dureza de recubrimiento SIC 2500 Vickers Dureza (500 g de carga)
Tamaño de grano
2 ~ 10 mm
Pureza química
99.99995%
CVD SIC Capacidad de calor de recubrimiento
640 j · kg-1· K-1
Temperatura de sublimación
2700
Resistencia a la flexión
415 MPA RT 4 puntos
Módulo de Young
430 GPA 4PT Bend, 1300 ℃
Conductividad térmica
300W · m-1· K-1
Expansión térmica (CTE)
4.5 × 10-6K-1

Vetek Semiconductor Veeco lideró tiendas de productos de susceptores EPI:

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