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LED EPI
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LED EPI

Vetek Semiconductor es un proveedor líder de recubrimientos TAC y piezas de grafito de recubrimiento SIC. Nos especializamos en la producción de susceptores EPI LED de vanguardia, esenciales para los procesos de epitaxia LED. Esperamos su consulta adicional.

Como proveedor y fabricante de susceptores EPI dirigidos por el profesional, Vetek Semiconductor le gustaría proporcionarle un susceptor EPI LED de alta calidad.


El susceptor EPI LED de Veteksemicon, un producto de vanguardia diseñado para procesos de crecimiento de epitaxia LED. Este susceptor de alta calidad sirve como portador de obleas para la epitaxia LED, proporcionando apoyo esencial y manteniendo el crecimiento de las obleas epitaxiales LED.


El susceptor EPI LED tiene una excelente conductividad térmica alta y alta resistencia a la temperatura. Por lo general, el susceptor necesita trabajar en un entorno de alta temperatura (por encima de 1000 ° C), y su material está hecho de grafito o carburo de silicio. Estos materiales tienen altos puntos de fusión (como el punto de fusión de grafito de aproximadamente 3650 ° C) y una excelente conductividad térmica (como la conductividad térmica de carburo de silicio de aproximadamente 120 W/m · K), lo que garantiza una transferencia de calor eficiente.


Además, la superficie del susceptor de Veteksemicon es altamente plana, lo que garantiza un contacto cercano con el sustrato. Al mismo tiempo, elgrafitooMateriales de carburo de silicioTambién tienen una inercia química significativa, evitando las reacciones laterales con gases reactivos (como NH₃, TMGA, etc.) y evitando la contaminación de la capa epitaxial.


El susceptor EPI LED incorpora una excelente conductividad térmica, disipando eficientemente el calor para mantener una temperatura de crecimiento estable para las obleas epitaxiales. Esta característica crucial mejora la estabilidad y la consistencia del proceso, asegurando un crecimiento LED consistente y de alta calidad. Para mejorar aún más su rendimiento, el susceptor EPI LED está recubierto con una película delgada premium de carburo tantalum (TAC). ElRecubrimiento TACmejora significativamente la durabilidad y la confiabilidad del producto, asegurando un rendimiento óptimo y de larga duración.


El susceptor EPI LED de Veteksemicon cuenta con una compatibilidad perfecta con varios equipos y procesos de epitaxia LED, lo que lo convierte en una solución versátil para diversos requisitos de crecimiento de obleas epitaxiales. Al mismo tiempo, Veteksemicon se compromete a proporcionar tecnología avanzada y soluciones de productos para la tecnología de procesamiento epitaxial de semiconductores. Esperamos sinceramente que te acompañes.


Propiedades físicas básicas del recubrimiento TAC:

Propiedades físicas del recubrimiento de carburo tantalum
Densidad 14.3 (g/cm³)
Emisividad específica 0.3
Coeficiente de expansión térmica 6.3*10-6/K
Dureza (HK) 2000 HK
Resistencia 1 × 10-5Ohm*cm
Estabilidad térmica <2500 ℃
Cambios de tamaño de grafito -10 ~ -20um
espesor ≥20um valor típico (35um ± 10um)


Comerciante semiconductor

VeTek Semiconductor LED EPI Susceptor Production Shop

Descripción general de la cadena industrial de la epitaxia de chip de semiconductores:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


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