Cabezal de ducha de grafito recubierto de carburo de silicio (SiC) CVD

Características clave

• Pureza ultraalta: el revestimiento de SiC sella el grafito por completo, por lo que no se produce desgasificación ni contaminación del metal.

• Excelente distribución del gas: cada cabezal de ducha está mecanizado para ofrecer una velocidad de gas constante en toda la oblea.

• Resistencia superior a la corrosión: CVD SiC no reacciona con halógenos ni residuos de procesos. Dura mucho más que el grafito o el cuarzo desnudos.

• Excelente rendimiento térmico: el recubrimiento coincide estrechamente con la expansión térmica del grafito, por lo que no se agrieta durante los rápidos aumentos de temperatura.

• Fabricación de precisión: utilizamos mecanizado CNC y recubrimiento CVD interno. Los diámetros y patrones de los orificios se mantienen con tolerancias estrictas.

Especificaciones técnicas

Aplicaciones

Estos cabezales de ducha se utilizan en:

• Sistemas CVD de semiconductores (tanto de producción como de I+D)

• Equipo PECVD – dieléctricos de baja temperatura

• Reactores MOCVD: compuestos III-V como GaN, InP

• Epitaxia de silicio (Si Epi): para dispositivos de alimentación y CMOS

• Epitaxia de SiC: electrónica de potencia de alto voltaje

• Fábricas de semiconductores compuestos

• Embalaje avanzado (por ejemplo, deposición de revestimiento TSV)

• Cualquier herramienta de película delgada que necesite un distribuidor de gas de alta pureza y resistente a la corrosión.

¿Por qué elegir VETEK?

• No somos una empresa comercial. Todo, desde el mecanizado de grafito hasta el recubrimiento final de SiC CVD, se realiza internamente. Eso significa que controlamos la calidad, el tiempo de entrega y el costo.

• Fabricación interna completa: sin sorpresas de subcontratación

• Tecnología de recubrimiento avanzada: CVD SiC denso y sin poros

• Soporte de ingeniería personalizado: envíenos el dibujo de su cabezal de ducha o simplemente el modelo del reactor.

• Cadena de suministro de semiconductores confiable: hemos estado suministrando a fábricas y fabricantes de equipos originales durante años

• No es necesario volver a calificar un diseño nuevo cada vez. Ya hemos revestido rociadores para muchas plataformas comunes (AMAT, TEL, LAM, ASM, etc.).