Epitaxia de silicio

Epitaxia de silicio, EPI, epitaxia, epitaxial se refiere al crecimiento de una capa de cristal con la misma dirección de cristal y diferente espesor de cristal en un solo sustrato de silicio cristalino. Se requiere tecnología de crecimiento epitaxial para la fabricación de componentes discretos de semiconductores y circuitos integrados, porque las impurezas contenidas en los semiconductores incluyen tipo N y tipo P. A través de una combinación de diferentes tipos, los dispositivos semiconductores exhiben una variedad de funciones.

El método de crecimiento de la epitaxia de silicio se puede dividir en epitaxia de fase gaseosa, epitaxia de fase líquida (LPE), epitaxia de fase sólida, método de crecimiento de depósito de vapor químico se usa ampliamente en el mundo para cumplir con la integridad del celtez.

El equipo epitaxial de silicio típico está representado por la compañía italiana LPE, que tiene panitaxial hy pnotic tor, Tor de cañón Hy Pnotic, semiconductor hy pnotic, portador de obleas, etc. El diagrama esquemático de la cámara de reacción de reacción epitaxial HY del pelector en forma de barril es el siguiente. El semiconductor Vetek puede proporcionar obleas de obleas en forma de barril de hy Pelector. La calidad del Pelector Hy recubierto de SIC es muy madura. Calidad equivalente a SGL; Al mismo tiempo, el semiconductor Vetek también puede proporcionar boquilla de cuarzo de cavidad epitaxial de silicio de reacción epitaxial, deflector de cuarzo, campana y otros productos completos.

Susceptor epitaxial vertial para la epitaxia de silicio:

Productos de susceptores epitaxiales verticales principales de Vetek Semiconductor

Susceptor de barril de grafito recubierto de SIC para EPI Susceptor de barril recubierto de sic Susceptor de barril recubierto de SIC CVD LPE si el seguidor de EPI establece

Susceptor epitaxial horizonal para la epitaxia de silicio:

Productos de susceptores epitaxiales horizontales principales de Vetek Semiconductor

Sic recubrimiento monocristalino bandeja epitaxial Soporte recubierto de SIC para LPE PE2061S Soporte giratorio de grafito