Soporte giratorio de grafito

El susceptor de la oblea es imprescindible para el proceso de crecimiento epitaxial. Durante el crecimiento epitaxial, el sustrato de obleas se coloca en el susceptor. Los susceptores grafitos de alta pureza de Vetek semiconductores se utilizan en equipos de procesamiento de materiales a alta temperatura y ambientes altos de vacío. En el crecimiento epitaxial del nitruro de galio (proceso MOCVD), juegan un papel de apoyo en la rotación del sustrato. El susceptor grafito de grafito de Vetek Semiconductor tiene las siguientes ventajas:

● Alta pureza: El contenido de impurezas en susceptores giratorios de grafito de alta pureza está por debajo de 5ppm. Este nivel de grafito de pureza puede evitar la liberación de impurezas a altas temperaturas para garantizar la limpieza del proceso de deposición. Por lo tanto, no se requiere recubrimiento para cumplir con los requisitos de trabajo.

Grafito de alta pureza

● Excelentes propiedades térmicas: El grafito de alta pureza tiene una excelente conductividad térmica, y su conductividad térmica es mucho más alta que otros materiales. El coeficiente de expansión térmica es pequeño y puede mantener un rendimiento estable al experimentar cambios de temperatura.

● Buenas propiedades mecánicas: El grafito de alta pureza tiene una buena resistencia y resistencia al desgaste, lo que puede cumplir con los complejos requisitos del proceso de CVD.

● Excelente conductividad: La conductividad es cien veces mayor que la de los minerales no metálicos generales.

● Estabilidad química: Puede resistir la corrosión de ácidos, álcalis y solventes orgánicos

Además, como fabricante y proveedor líder de susceptor de grafito de alta pureza en China, Vetek Semiconductor también suministra de alta calidadSusceptor de grafito recubierto de SIC para MOCVD, Susceptor de barril recubierto de sic, Soporte de grafito recubierto de TACyMOCVD SIC RECEATIVO.Vetek Semiconductor se compromete a proporcionar tecnología avanzada y soluciones de productos para la industria de semiconductores, y también admite servicios personalizados. Esperamos sinceramente convertirnos en su socio a largo plazo en China.

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