¿Qué es el grafito poroso? - VeTek Semiconductor

Grafito porosoes un material de carbono diseñado que contiene una red de poros dentro de su estructura de grafito. Sus características clave incluyen porosidad, distribución del tamaño de los poros, permeabilidad, densidad aparente y propiedades térmicas. En la fabricación de semiconductores, se utilizan componentes seleccionados de grafito poroso de alta pureza en sistemas de crecimiento de cristales de transporte físico de vapor (PVT) de carburo de silicio (SiC) para respaldar funciones específicas de transporte de gas y campo térmico. El rendimiento del material depende del grado de grafito, la estructura de los poros, la pureza y las condiciones de funcionamiento.

La estructura porosa del grafito.

El grafito poroso es un producto de estructura porosa hecho de grafito como material base. Su material es grafito de alta pureza. Los parámetros físicos del grafito poroso VeTek Semiconductor varían según el proceso de producción y la aplicación específica. Los siguientes son parámetros físicos comunes:

El grafito poroso está hecho de grafito de alta pureza y tiene excelente conductividad eléctrica, conductividad térmica, resistencia a altas temperaturas, resistencia a la oxidación, estabilidad química y otras características. Se utiliza ampliamente en la industria de procesamiento de semiconductores.

En el proceso de procesamiento de semiconductores, el grafito poroso se usa ampliamente en los siguientes aspectos:

Combinado con la excelente resistencia a altas temperaturas y la estabilidad química del grafito poroso, como una buena resistencia a la corrosión a la mayoría de los productos químicos como ácidos, álcalis y disolventes, el grafito poroso se utiliza a menudo en equipos de tratamiento térmico y sinterización a alta temperatura. Por ejemplo, el grafito poroso se puede utilizar como revestimiento, material aislante o material de soporte para hornos de alta temperatura.

Además,

Componente de grafito poroso de crecimiento de cristales de SiCTiene una excelente conductividad eléctrica y estabilidad térmica para proporcionar un campo térmico uniforme y propiedades eléctricas estables. Por lo tanto, este producto se utiliza a menudo en el proceso de difusión u oxidación del procesamiento de semiconductores como fuente de difusión o material de electrodo.

La estructura porosa del grafito poroso puede filtrar y purificar los gases utilizados en el procesamiento de semiconductores, reducir la posible contaminación por partículas y garantizar una alta limpieza durante el procesamiento. Con su estructura porosa y buena permeabilidad al aire, las piezas de grafito poroso también se pueden utilizar como base y accesorio en un sistema de adsorción al vacío para fijar obleas u otros componentes mediante una adsorción al vacío eficiente.

Al ajustar el proceso de sinterización del grafito, VeTek Semiconductor puedepersonalizar materiales de grafito poroso con diferentes tamaños de poros y porosidades para cumplir con diferentes requisitos de aplicación.

                                                                                                  Grafito poroso                 Grafito poroso de crecimiento de cristales de SiC           Crisol de grafito de tres pétalos

De hecho, VeTek Semiconductor tiene una posición de liderazgo absoluto en el mercado de susceptores de grafito recubiertos de sic, el mercado de crisoles de grafito recubiertos de tac y el mercado de bandejas de grafito recubierto de carburo de silicio de China. VeTek Semiconductor es un fabricante, proveedor y fábrica profesional chino de productos especiales de grafito, comoGrafito poroso de crecimiento de cristales de SiC, Recubrimiento de carbón pirolítico, Recubrimiento de carbono vítreo, Grafito isotrópico, Grafito siliconadoyHoja de grafito de alta pureza. Estamos comprometidos a brindar soluciones avanzadas para diversos productos de grafito especial para la industria de semiconductores.

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