Obleas piezoeléctricas PZT (PZT sobre Si/SOI)

1. Arquitectura Técnica

Nuestras obleas cuentan con una sofisticada estructura de pila de múltiples capas diseñada para garantizar una adhesión, conductividad y respuesta piezoeléctrica óptimas durante el procesamiento complejo de MEMS:

 ●Electrodo superior (capa clave): Pt (Platino).

● Capa piezoeléctrica (capa central): PZT.

● Capas Intermedias: Incluye capa amortiguadora, electrodo inferior y capa de adhesión para optimizar la orientación del grano y la estabilidad estructural.

● sustrato: Compatible con obleas de Si o SOI.

2. Garantía de calidad y análisis de microestructura

Aseguramos una alta confiabilidad a través de una rigurosa caracterización técnica:

 ●Análisis SEM: Las imágenes de microscopía electrónica de barrido (SEM) revelan una morfología de superficie densa y sin grietas con una distribución uniforme del tamaño de grano, ideal para aplicaciones MEMS de alta confiabilidad.

 ●Caracterización XRD: Los patrones de difracción de rayos X (DRX) confirman la formación de fase de perovskita pura con una fuerte orientación preferida (100), lo que garantiza coeficientes de rendimiento piezoeléctrico máximos.

3. Especificaciones Técnicas (Características)

4. Aplicaciones principales

 ● Transductores ultrasónicos micromecanizados piezoeléctricos (pMUT): Conjuntos miniaturizados de alta frecuencia para sensores de huellas dactilares, reconocimiento de gestos y radares ultrasónicos para automóviles.

 ● Comunicación: Clave para fabricar filtros FBAR o SAW en 5G/6G para conseguir mayor ancho de banda y menor pérdida de inserción.

 ● MEMS acústicos: Proporciona una potente respuesta transitoria para altavoces MEMS y mejora la relación señal-ruido (SNR) para micrófonos MEMS.

 ● Control de fluidos de precisión: Vibración de alta velocidad a través del modo d31 para un control preciso a escala de nanolitros del volumen de gotas en los cabezales de impresión de inyección de tinta.

 ● Medicina y belleza (microbombeo): Impulsa nebulizadores médicos o bombas ultrasónicas cosméticas con alta confiabilidad y tamaño compacto.

5. Servicios de personalización

Además de la deposición estándar en obleas de Si, también ofrecemos servicios de deposición personalizados:

 ●Personalización de película y espesor: Deposición de tipos de película específicos y espesores personalizados según los requisitos de diseño.

 ●Fundición OEM: Aceptación de obleas suministradas por los clientes para el crecimiento de películas delgadas piezoeléctricas de alta calidad.

 ●Soporte de sustrato SOI: Deposición especializada sobre obleas SOI con las siguientes especificaciones: