Susceptor de grafito recubierto de SiC para MOCVD

El susceptor de grafito recubierto de SIC de Vetek Semiconductor para MOCVD es un portador de grafito recubierto de SIC de alta pureza, diseñado específicamente para el crecimiento de la capa epitaxial en chips de obleas. Como componente central en el procesamiento de MOCVD, típicamente con forma de engranaje o anillo, cuenta con una resistencia al calor excepcional y una resistencia a la corrosión, lo que garantiza la estabilidad en entornos extremos.

Características clave del susceptor de grafito recubierto de SiC MOCVD:

●   Revestimiento resistente a las escamas: Garantiza una cobertura uniforme del recubrimiento de SiC en todas las superficies, lo que reduce el riesgo de desprendimiento de partículas.

●   Excelente resistencia a la oxidación a altas temperaturasce: Permanece estable a temperaturas de hasta 1600°C

●   Alta pureza: Fabricado mediante deposición química de vapor CVD, adecuado para condiciones de cloración a alta temperatura

●   Resistencia superior a la corrosión: Altamente resistente a los ácidos, álcalis, sales y reactivos orgánicos

● Patrón de flujo de aire laminar optimizado: Mejora la uniformidad de la dinámica del flujo de aire

● Distribución térmica uniforme: Garantiza una distribución estable del calor durante procesos de alta temperatura

●   Prevención de la contaminación: Previene la difusión de contaminantes o impurezas, asegurando la limpieza de las obleas.

En VeTek Semiconductor, cumplimos con estrictos estándares de calidad y brindamos productos y servicios confiables a nuestros clientes. Seleccionamos solo materiales de primera calidad, esforzándonos por cumplir y superar los requisitos de rendimiento de la industria. Nuestro susceptor de grafito recubierto de SiC para MOCVD ejemplifica este compromiso con la calidad. Contáctenos para obtener más información sobre cómo podemos satisfacer sus necesidades de procesamiento de obleas semiconductoras.

ESTRUCTURA CRISTALINA DE LA PELÍCULA CVD SIC:

Propiedades físicas básicas del recubrimiento CVD SiC:

Semiconductores VeTek Mocvd Receptor de grafito recubierto de SiC: