Subjetor EPI dirigido por UV

El susceptor EPI LED UV del semiconductor de Vetek generalmente está hecho de materiales como el carburo de silicio (sic) o grafito, y generalmente tiene un recubrimiento especializado para mejorar su rendimiento en condiciones de alta temperatura.

Durante el proceso de epitaxia ultravioleta profunda (DUV), la excelente conductividad térmica del susceptor EPI LED UV puede garantizar una distribución de calor uniforme en la superficie del sustrato, lo cual es esencial para lograr un crecimiento uniforme de la capa epitaxial. Y el calentamiento uniforme ayuda a mantener la calidad y consistencia de la capa LED UV.

Al mismo tiempo, durante el proceso de crecimiento epitaxial, el Epi Susceptor LED UV puede fijar firmemente el sustrato, como la oblea, garantizando así la precisión y estabilidad de la posición del sustrato durante el proceso de deposición. Combinado con la excelente resistencia química del carburo de silicio o los susceptores de grafito recubiertos, protege tanto el sustrato como el propio susceptor. Por lo tanto, el Epi Susceptor LED UV es un componente clave indispensable en el proceso de crecimiento epitaxial de semiconductores.

Como líder de la industria en productos UV LED Epi Susceptor, VeTek Semiconducto siempre respalda servicios de personalización de productos y precios de productos satisfactorios. No importa cuáles sean sus requisitos específicos, encontraremos la mejor solución para sus necesidades y esperamos su consulta en cualquier momento.

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Descripción general de la cadena industrial de la epitaxia de chip de semiconductores: