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Collector de recubrimiento SIC Top
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Collector de recubrimiento SIC Top

Bienvenido a Vetek Semiconductor, su fabricante de confianza de recubrimientos CVD SIC. Nos enorgullece ofrecer la parte superior del coleccionista de recubrimiento AIXTRON SIC, que se diseñan expertamente utilizando grafito de alta pureza y cuentan con un recubrimiento CVD SIC de última generación con impurezas por debajo de 5 ppm. No dude en comunicarse con nosotros con cualquier pregunta o consulta

Con años de experiencia en producciónRecubrimiento TACyRecubrimiento sic, Vetek Semiconductor puede suministrar una amplia gama de top colección de recubrimiento SiC,centro coleccionista, coleccionistapara el sistema Aixtron. El recolector de recubrimiento SIC de alta calidad puede cumplir con muchas aplicaciones, si lo necesita, obtenga nuestro servicio oportuno en línea sobre la parte superior del coleccionista de recubrimiento SIC. Además de la lista de productos a continuación, también puede personalizar su propio colector de recubrimiento SIC único de acuerdo con sus necesidades específicas.


Sic Coating Collector Top, SIC Coating Collector Center y Sic Coating Collector Bottom son los tres componentes básicos utilizados en el proceso de fabricación de semiconductores. Discutamos cada producto por separado:


Vetek Semiconductor Sic Coating Collector Top juega un papel crucial en el proceso de deposición de semiconductores. Actúa como una estructura de soporte para el material depositado, ayudando a mantener la uniformidad y la estabilidad durante la deposición. También ayuda en el manejo térmico, disipando efectivamente el calor generado durante el proceso. La parte superior del coleccionista garantiza la disposición y distribución correctas del material depositado, lo que resulta en un crecimiento de la película de alta calidad y consistente.


El recubrimiento SIC en Collector Top, Collector Center, Collector Bottom mejora significativamente su rendimiento y durabilidad.Recubrimiento sic (carburo de silicio)es conocido por su excelente conductividad térmica, inercia química y resistencia a la corrosión. El recubrimiento SIC en la parte superior, centro y parte inferior del coleccionista proporciona excelentes capacidades de gestión térmica, asegurando una disipación de calor eficiente y manteniendo temperaturas de proceso óptimas. También tiene una excelente resistencia química, protegiendo componentes de entornos corrosivos y extendiendo su vida útil. Las propiedades de los recubrimientos SIC ayudan a mejorar la estabilidad de los procesos de fabricación de semiconductores, reducir los defectos y mejorar la calidad de la película.


Propiedades físicas básicas del recubrimiento SIC CVD:

Propiedades físicas básicas del recubrimiento SIC CVD
Propiedad Valor típico
Estructura cristalina Policristalina de fase β FCC, principalmente (111) orientada
Densidad de recubrimiento SIC CVD 3.21 g/cm³
Dureza de recubrimiento SIC 2500 Vickers Dureza (500 g de carga)
Tamaño de grano 2 ~ 10 mm
Pureza química 99.99995%
Capacidad de calor 640 j · kg-1· K-1
Temperatura de sublimación 2700 ℃
Resistencia a la flexión 415 MPA RT 4 puntos
Módulo de Young 430 GPA 4PT Bend, 1300 ℃
Conductividad térmica 300W · m-1· K-1
Expansión térmica (CTE) 4.5 × 10-6K-1


Datos SEM de CVD SIC Film

SEM DATA OF CVD SIC FILM

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