¿Qué es el recubrimiento Tantalum Carbide TAC? - Veteksemicon

¿Qué es Tantalum Carbide (TAC)?

El material cerámico de carburo tantalum (TAC) tiene un punto de fusión de hasta 3880 ℃ y es un compuesto con alto punto de fusión y buena estabilidad química. Puede mantener un rendimiento estable en entornos de alta temperatura. Además, también tiene alta resistencia a la temperatura, resistencia a la corrosión química y una buena compatibilidad química y mecánica con los materiales de carbono, lo que lo convierte en un material de recubrimiento protector de sustrato de grafito ideal. 

Revestimiento de carburo tantalumpuede proteger efectivamente los componentes de grafito de los efectos del amoníaco caliente, el hidrógeno, el vapor de silicio y el metal fundido en entornos de uso duros, extendiendo significativamente la vida útil de los componentes de grafito y suprimiendo la migración de impurezas en grafito, asegurando la calidad de la calidad deepitaxialycrecimiento cristalino.

Figura 1. Componentes recubiertos de carburo tantalum comunes

Preparación de recubrimiento TAC por proceso CVD

La deposición de vapor químico (CVD) es el método más maduro y óptimo para producir recubrimientos TAC en superficies de grafito.

Usando TACL5 y propileno como fuentes de carbono y tantalio, respectivamente, y el argón como el gas portador, el vapor tacl5 de vaporizado a alta temperatura se introduce en la cámara de reacción. A la temperatura y la presión objetivo, el material precursor de vapor se adsorbe en la superficie del grafito, que experimentan una serie de reacciones químicas complejas, como la descomposición y la combinación de fuentes de carbono y tantalio, así como una serie de reacciones superficiales como la difusión y la desorción de los medios del precursor. Finalmente, se forma una capa protectora densa en la superficie del grafito, que protege el grafito de la existencia estable en condiciones ambientales extremas y expande significativamente los escenarios de aplicación de los materiales de grafito.

Figura 2.Principio del proceso de deposición de vapor químico (CVD)

Para obtener más información sobre los principios y el proceso de preparación de CVD TAC Coating, consulte el artículo:¿Cómo preparar el revestimiento CVD TAC?

¿Por qué elegir Veteksemicon?

SemiconProporciona principalmente productos de carburo Tantalum: anillo de guía TAC, TAC recubierto de tres anillos de pétalos,Crisol de revestimiento TAC, La recubrimiento de TAC grafito poroso se usa ampliamente es el proceso de crecimiento de cristal SiC; Grafito poroso con anillo de guía recubierto de TAC recubierto de TAC,Portador de obleas de grafito con recubrimiento de TAC, Susceptores de recubrimiento TAC,susceptor planetario, Y estos productos de recubrimiento de carburo tantalum se usan ampliamente enProceso de epitaxia sicyProceso de crecimiento de un solo cristal de sic.

Figura 3.VeterinarioProductos de recubrimiento de carburo tantalum más populares de Ek Semiconductor